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第 2 部 功能详解篇 第 10 章 自己诊断功能 10 -6 10 -3-3- 1 Cal 块标志沾污检查 从自己诊断菜单 里选择 [ Cal 块标志沾 污 ] ，即可 显示 C al 块标志沾污 检查 对话框 。 按下「执行检查 」 按钮，即可 执行 C al 块标志沾污 检查。 检查 结果 ，在「识别结果 」上 显示。 识别 结果详细情况 如下 。 识别结果 概要 OK 识别 Cal 块标志 成功。 识别 错误 识别 C al 块…
第 2 部 功能详解篇 第 10 章 自己诊断功能
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10-3-3 个别诊断功能
个别诊断功能是指，按动作项目进行装置诊断的功能。
个别功能的诊断项目，列举如下。
No.
个别诊断功能组
设定内容
1 Cal 块标志沾污检查
检查
Cal
块标志上有无夹具或部件遮挡标记，确保返回原
点时坐标系不会出现误差。
2 过滤器沾污检查
对
Head
的真空
ON/OFF
按规定次数执行检查
，检查喷射
泵的粘连，诊断是否发生不良。
3
3D
传感器沾污检查
对
3D
传感器的沾污情况执行检查，判断其结果。
4 Head 偏移量
相对于
OCC
的各
Head
安装位置
与激光校准主体的安装角度
5 激光/传感高度 从基板表面看到的激光/传感高度
6
真空校准
实施真空测定。
7
3D
传感器偏差
3D
传感器的安装位置
/
安装角度
8 ATC 滑动板开闭检查
可确认
ATC
滑板开闭时间，为吸嘴更换不良等提供诊断
材料。
(1) 启动之后
选择桌面画面菜单的「维护」→［自己诊断功能］，显示自己诊断的初始画面。
(2) 退出自己诊断
选择信息区域的「退出」或标题栏右侧的退出按钮，即可退出应用程序。
第 2 部 功能详解篇 第 10 章 自己诊断功能
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10-3-3-1 Cal 块标志沾污检查
从自己诊断菜单里选择[Cal 块标志沾污]，即可显示 Cal 块标志沾污检查对话框。
按下「执行检查」按钮，即可执行 Cal 块标志沾污检查。
检查结果，在「识别结果」上显示。
识别结果详细情况如下。
识别结果
概要
OK 识别 Cal 块标志成功。
识别错误 识别 Cal 块标志出现错误。
脏污错误 Cal 块标志脏污。
第 2 部 功能详解篇 第 10 章 自己诊断功能
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Cal 块标志识别出现错误时，会输出如下提示信息。
确认是否 Cal 块标志上有异物、或 Cal 块标志脏污。
10-3-3-2 过滤器弄脏检查
从自己诊断菜单上选择[过滤器]，即可显示过滤器弄脏检查对话框。
指定要检查的供料器台架，或 Head，按下[执行检查]按钮，执行过滤器脏污检查。
还可用「全检查」，对全部 Head 的选择/非选择状态进行统一变更。
检查结果，列表显示。