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第 2 部 功能详解篇 第 10 章 自己诊断功能 10 - 21 设置 H ead 移动 到真空校 准上面，计测加 压破坏状 况 3 次。 ・ 显示第 2 次和 第 3 次的平均值。 ・ 计测后显示的压力值 图表，是第 3 次的数据。 ・ 请按下［确 认］。
第 2 部 功能详解篇 第 10 章 自己诊断功能
10-20
设置 Head 移动到真空校准上面，计测真空到达状况 3 次。
设置 Head 移动到真空校准上面，计测自然破坏状况 3 次。
・ 显示第 2 次和第 3 次的平均值。
・ 计测后显示的压力值图表，是第 3 次的数据。
・请按下［确认］。
第 2 部 功能详解篇 第 10 章 自己诊断功能
10-21
设置 Head 移动到真空校准上面，计测加压破坏状况 3 次。
・ 显示第 2 次和第 3 次的平均值。
・ 计测后显示的压力值图表，是第 3 次的数据。
・请按下［确认］。
第 2 部 功能详解篇 第 10 章 自己诊断功能
10-22
10-3-3-7 3D 传感器偏差
在自己诊断菜单选择[3D 传感器偏差]，将显示调整 3D 传感器摄像机偏差画面。
设定距离 3D 传感器设计位置的偏差值。
仅对 3D 传感器识别元件，在一定方向发生贴片偏移时，重新进行设定。
在设定时，使用校准片 3D。
(1) 选择 Head 吸嘴
从「Head1」、「Head2」、「Head3」、「Head4」选择要测量的 Head。
(2) 装配位置 / 角度(Head 1 显示)
显示 MS 参数中保存的数值，及设置的结果。
(3) 操作
1) 进度条
显示测量的经过。测量结束即变为 100%。