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第 2 部 功能详解篇 第 9 章 设备运行信息 9- 19 [ 重新设置 ] 按钮 按下 [ 重新设置 ] 按钮或 主菜单 的 [ 初始化 ] - [ 重新设置 ] 后,显示 以下画面 。 可以清除一览中 的特定内容、或所有内容 。 ・ 按 [ 全部选择 ] 按钮,可选择所 有的复选框 。 ・ 点击需要重新设置的项目 复选框, 按 [ 确定 ] 按钮后, 可显示询问 提示信息 画面, 点击 [ 确定 ] 后, 对象项目都将被 重新设置…

第 2 部 功能详解篇 第 9 章 设备运行信息
9-18
9-3-7 传送运行信息
从主菜单中选择[机器]-[传送运行信息]后,可显示传送运行信息画面。
传送
No.
项目
内容
1
通过基板总数
基板通过枚数累计。
2
IN
马达驱动次数
IN
马达动作累计次数。
3
IN
马达驱动时间
IN
马达动作时间累计。
4
中心马达驱动次数
中心马达动作累计次数。
5
中心马达驱动时间
中心马达动作时间累计。
6
OUT
马达驱动次数
OUT
马达动作累计次数。
7
OUT
马达驱动时间
OUT
马达动作时间累计。
8
传送错误次数
传送错误次数累计。
9
等待基板搬入时间
从基板搬入可能状态到下一枚基板夹紧的时间累计。
10
等待基板搬出时间
从基板传送可能状态到开始搬出的时间累计。
11
等待基板传送时间
从已夹紧基板解除到夹紧结束
/
搬出结束的时间累计。
12
支撑台驱动次数
支撑台动作累计次数。
13
自动调整基板宽度驱动次数
自动调整基板宽度动作累计次数。
14
传送挡块驱动次数
传送挡块动作累计次数。

第 2 部 功能详解篇 第 9 章 设备运行信息
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[重新设置]按钮
按下[重新设置]按钮或主菜单的[初始化]-[重新设置]后,显示以下画面。
可以清除一览中的特定内容、或所有内容。
・ 按[全部选择]按钮,可选择所有的复选框。
・ 点击需要重新设置的项目复选框,按[确定]按钮后,可显示询问提示信息画面,点击[确定]后,
对象项目都将被重新设置,并关闭画面。
・ 点击[取消]按钮,则数据不被重新设置,画面仍显示原来的数据。

第 2 部 功能详解篇 第 9 章 设备运行信息
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9-3-8 真空发生器行信息
从主菜单选择[机器]—[真空发生器行信息],可显示真空发生器行信息画面。
真空发生器行信息
No
项目
内容
1 使用时间 使用真空发生器(抽气泵)的累计时间。
[重新设置]按钮
按下[重新设置]按钮或主菜单的[初始化]-[重新设置],即显示如下的询问信息。
・在询问信息上按下[确定]后,对象项目被重新设置,关闭画面。
・按[取消]按钮后,数据将不被重新设置,显示原有数据。