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第 2 部 功能详解篇 第 8 章 手动控制 8- 17 8-4-1- 1 控制对象:基板传送 按下 [ 基板 传送 ] 按钮, 即可 显示如 下画面。 (1) 状态 马达 / 传感器 的 状态,用 ON/OFF 显示 。 (2) 控制 项目 用单选按钮选择 控制项目 。 按 [ 执行 ] 按钮后,即开始按 选择 的控 制执行。 1) 初始化 将基板传送进行 初始化。 2) 基板 搬入 按基板停止 方式指定的方式 搬入 基板。 基板 尺…

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2 功能详解篇 8 手动控制
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传送控制画面上的各传感器的显图,请参如下列表。
用画面中央的按下式按钮,可选择控制对象。
后面将详细说明参见 8-4-1-1 控制对象:基板传送以后的章节
No. 显示项目 显示图 显示内容
1
准备搬入(Ready In
准备搬出(Ready Out
Ready In/ Out 处于 OFF 状态。
Ready In/ Out 处于 ON 状态。
2
可以搬入基板
(Board available In)
可以搬出基板
(Board available Out)
Board available In/Out 处于 OFF 状态。
Board available In/Out 处于 ON 状态。
3 传送挡块
传送挡块处于 OFF 状态。
传送挡块处于 ON 状态。
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8-4-1-1 控制对象:基板传送
按下[基板传送]按钮,即可显示如下画面。
(1) 状态
马达/传感器状态,用 ON/OFF 显示
(2) 控制项目
用单选按钮选择控制项目
[执行]按钮后,即开始按选择的控制执行。
1) 初始化
将基板传送进行初始化。
2) 基板搬入
按基板停止方式指定的方式搬入基板。
基板尺寸 X 对应长尺寸基板,可以从下面的「夹紧位置」选择装载的位
3) 基板搬出
搬出基板。
4) 基板固定解除
释放基板。
5) 基板重夹
用基板停止方式中指定的方式对传送通道上的基板进行重夹。
基板尺寸 X 对应长尺寸基板,可以从下面的「夹紧位置」选择重夹的位置。
6) 2 段夹紧
将基板安装到长尺寸基板第二段夹紧位置
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8-4-1-2 控制对象:自动调整基板宽度
按下[自动调整基板宽度]按钮即可显示以下画面
自动基板宽度调整
(1) 状态
显示各种传感器基板传送宽度的状态
(2) 控制项目
用单选按钮选择控制项目
[执行]按钮后,开始进行与选择项目对应控制
1) 返回原点
自动调整基板宽度返回原点。
2) 变更幅度
按照“基板幅度编辑框中输入的值,变更传送宽度