JM-50使用说明书.pdf - 第655页
第 2 部 功能详解篇 第 7 章 机器设置 7- 64 7-4- 7 单元 2 可进行 MTS 托盘控制 。 选择 [ 托盘控制 ] 的 [ 速度 ] ，按下 [ 扩展 ] 按钮， 可按选择的速 度拉出托盘。 (1) 托盘段数 指定控制托盘的 层数。 (2) 速度 指定托盘拉出时 的速度。 (3) 扩展 拉出托盘。
第 2 部 功能详解篇 第 7 章 机器设置
7-63
7-4-6 单元 1
可对ATC（滑板）、支撑台、安全盖锁定、LNC LED、传送挡块、传送、AWC进行控制。
(1) ATC 的滑板
可进行各 ATC 的滑板「OPEN / CLOSE」控制。
(2) 支撑台
可进行支撑台的「UP / DOWN」控制。
(3) 安全盖锁定
可执行前/后的「安全盖锁定 ON/OFF」。
(4) LNC LED
可以进行 LNC LED 的「ON / OFF」。
(5) 传送挡块
3 马达规格时可执行传送挡块的「ON/OFF」。
(6) 传送控制
按下 [基板幅调整] 按钮，即显示基板宽度调整画面。
按下 [传送控制] 按钮时，即显示基板传送主画面。
第 2 部 功能详解篇 第 7 章 机器设置
7-64
7-4-7 单元 2
可进行MTS托盘控制。
选择 [托盘控制] 的 [速度]，按下 [扩展] 按钮，可按选择的速度拉出托盘。
(1) 托盘段数
指定控制托盘的层数。
(2) 速度
指定托盘拉出时的速度。
(3) 扩展
拉出托盘。
第 2 部 功能详解篇 第 8 章 手动控制
8-1
第8章 手动控制
8-1 概要
手动控制，是指为确认各部位的运行，或检查传感器 ON/OFF（开，关）的项目。
使用的主要功能有：基板的准备(请参见「2-7-1 设置基板」)，Head 的移动，激光的确认等。
还可检查 LED 是否发生故障(一边使其点亮、灭灯，一边进行检查)。
主菜单
子菜单
内容
1 Head
1 Head 控制
以各
Head
为基准的
XY
轴移动控制，坐标显示。
各 Head 的 Z，θ，ZA 轴移动控制，坐标显示
各
Head
的真空控制，吹气控制，压力值显示
2 Head 设备控制
以各
Head
装置
(OCC
，坏板标记传感器，
HMS)
为基准的 XY 轴移动控制，坐标显示
各
Head
装置的控制，传感器状态显示
3
激光／传感器控制
各
Head
的真空控制，真空开／关显示
各 Head 的 Z 轴移动控制，坐标显示
算法切换，结果显示，
图像显示边缘检查，边缘检查显示
2 传送系 1 传送控制
基板传送，自动调整基板宽度，传送马达控制，
支撑台控制，信号的状态显示
3 供应设备
1
送料针控制
带宽、输送间隔、各位置的卷带送料动作、单纯送
料动作
2 MTS 控制
托盘控制，状态显示
3
径向
/
卧式（轴向）供料
器控制
径向/卧式（轴向）供料器控制、状态显示
4 径向供料器控制
径向供料器控制、状态显示
4 其他
1 ATC 控制
ATC 滑板控制，传感器状态显示，吸嘴吸取控制
2 信号灯控制
信号灯控制，警报器控制，状态显示
3 其他控制
LED 控制，真空控制，状态显示，真空发生器控制
4
其它传感器
气压降低传感器等的状态显示
5
驱动器状况
X
，
Y
，
Z
，
θ
轴驱动器的状态显示
6
伺服状态
伺服状态显示
7
3D
传感器控制
3D
传感器拍照，并显示拍照的图像