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第 2 部 功能详解篇 第 8 章 手动控制 8-7 2) HMS a) XY 轴移动 与 H ead 控制 的 XY 轴移动 同样。 b) 计测 计测 高度 。 ・ 勾选 控制项目 的 “ 计测 ” 时，按 [ 执行 ] 按钮，进行控制 。 ・ 计测结果 状态，在控制结束 时 显示 。
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(3) 控制项目
用单选按钮选择控制项目。
控制单元不同，显示的按钮不一样。
1) OCC
a) XY 轴移动
与 Head 控制的 XY 轴移动相同。
b) 垂直照明控制
对 OCC 的垂直照明的 ON/OFF，进行控制。
· 移动滑动条，设定光量。
· 选择“垂直照明控制”时, 按 [ON]按钮，[OFF]按钮，[ON/OFF]按钮，进行控制。
· 照明的状态，在控制结束时更新显示。
c) 角度照明控制
对 OCC 角度照明的 ON/OFF，进行控制。 与(b)垂直照明控制一样，要设定光量。
d) 外圈照明 (选购项)
对 OCC 外圈照明的 ON/OFF，进行控制。与(b) 垂直照明控制一样，要设定光量。
MS 参数中没有设定选项时，不能选择。
e) 极性控制
对 OCC 的极性正/反，进行控制。
勾选控制项目的“极性控制”时，用[正]按钮，[反]按钮，[正/反]按钮，进行控制。
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2) HMS
a) XY 轴移动
与 Head 控制的 XY 轴移动同样。
b) 计测
计测高度。
・ 勾选控制项目的“计测”时，按[执行]按钮，进行控制。
・ 计测结果状态，在控制结束时显示。
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8-3-3 激光/传感器控制
选择菜单的[Head]－[激光/传感器控制]，即可显示激光/传感器控制的对话框。
(1) 状态·计测结果
控制 Head 真空的 ON/OFF，Z 轴坐标，激光计测结果，在控制结束时显示。
取得计测(SWEEP 及 ONCE)结果时，激光返回的状态一览显示在下页。