JM-50使用说明书.pdf - 第671页

第 2 部 功能详解篇 第 8 章 手动控制 8- 16 传送控制 画面上的 各传感器的显 示 图,请参 见 如下列表。 用画面中央的 按下式 按钮 ,可选择 控制 对象。 后面将详细说明 。 参见 8-4 -1- 1 控制对象:基板 传送以后 的章节 。 No. 显示 项目 显示图 显示 内容 1 准备搬入( R eady In ) 准备搬出( R eady Out ) Ready In / Out 处于 OFF 状态。 Ready …

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2 功能详解篇 8 手动控制
8-15
8-4 传送系
8-4-1 传送控制
从下拉菜单中选[传送(C)]-[传送控制(V)]点击命令按钮中的[传送控制]后,显示传送控制画面。
选择菜单的[送系][传送控制]后,即显示传送控制的对话框。
在画面上部显示各传送传感器·传送马状态
把光标对准传感显示图上时,即可显示工具提示。上图显示的是各停止传感器马达传感器有关情况。
2 功能详解篇 8 手动控制
8-16
传送控制画面上的各传感器的显图,请参如下列表。
用画面中央的按下式按钮,可选择控制对象。
后面将详细说明参见 8-4-1-1 控制对象:基板传送以后的章节
No. 显示项目 显示图 显示内容
1
准备搬入(Ready In
准备搬出(Ready Out
Ready In/ Out 处于 OFF 状态。
Ready In/ Out 处于 ON 状态。
2
可以搬入基板
(Board available In)
可以搬出基板
(Board available Out)
Board available In/Out 处于 OFF 状态。
Board available In/Out 处于 ON 状态。
3 传送挡块
传送挡块处于 OFF 状态。
传送挡块处于 ON 状态。
2 功能详解篇 8 手动控制
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8-4-1-1 控制对象:基板传送
按下[基板传送]按钮,即可显示如下画面。
(1) 状态
马达/传感器状态,用 ON/OFF 显示
(2) 控制项目
用单选按钮选择控制项目
[执行]按钮后,即开始按选择的控制执行。
1) 初始化
将基板传送进行初始化。
2) 基板搬入
按基板停止方式指定的方式搬入基板。
基板尺寸 X 对应长尺寸基板,可以从下面的「夹紧位置」选择装载的位
3) 基板搬出
搬出基板。
4) 基板固定解除
释放基板。
5) 基板重夹
用基板停止方式中指定的方式对传送通道上的基板进行重夹。
基板尺寸 X 对应长尺寸基板,可以从下面的「夹紧位置」选择重夹的位置。
6) 2 段夹紧
将基板安装到长尺寸基板第二段夹紧位置