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第 1 部 基本篇 第 3 章 维护 3- 12 1) 请把下图的各种传送 传感器的发光面、感光面 上 附着的灰尘 和垃圾清除干 净。 如果去不掉脏污 ,请沾少量的酒精( I PA )进行清 扫。 清扫部位 3-2-2 各种传送传感器 实施频度 :每月 清扫内容 清扫传 感器视窗 使用工具:抹布 推荐溶剂 : I PA IN,OUT 传感器 W AIT ,STOP ,C ・ OUT 传感器

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1 基本篇 3 维护
3-11
3-2 清扫
1) 请检查X轴单元和Y轴单元轨道上有无附着垃圾、灰尘,并清扫干净。
润滑油擦去后,请涂抹新润滑油
清扫部位
3-2-1 XY 轴直动单元
实施频度 :每月
清扫内容
除去轨道、滚珠丝杠上的灰尘、
润滑油
使用工具
毛刷、抹布
使用润滑油
LM 导轨:6459 润滑油 N
滚珠丝杠:NSL 润滑
X 直动单元
Y 直动单元
1 基本篇 3 维护
3-12
1) 请把下图的各种传送传感器的发光面、感光面附着的灰尘和垃圾清除干净。
如果去不掉脏污,请沾少量的酒精(IPA)进行清扫。
清扫部位
3-2-2 各种传送传感器
实施频度 :每月
清扫内容 清扫传感器视窗 使用工具:抹布 推荐溶剂 IPA
IN,OUT
传感器
WAIT,STOP,C
OUT
传感器
1 基本篇 3 维护
3-13
1) 检查 CAL ①的上面和第一标记②上有无灰尘等异物,有异物时请进行清扫。
若第一标记处有脏污,可能会导致 MS 参数误设置。
如果去不掉脏污,请沾少量酒精(IPA)进行清扫。
清扫部位
3-2-3 CAL
实施频度 :每周
清扫内容 清扫 CAL 使用工具:抹布 推荐溶剂 IPA