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第 2 部 功能详解篇 第 8 章 手动控制 8-5 8-3- 2 Head 设备控制 选择 菜单 的 [ Head ] － [ Head 设备控制 ] ， 即可 显示 H ead 设备控制画面 。 (1) 状态 1) OCC 在 XY 轴坐标、 照明 ( 垂直照明，角 度照明，外圈 照明 ) 的 ON 或 OFF 控制结束时 显示 。 外圈照明，在 未设置选项的状态下 显示 为「＊＊＊ ＊」。 2) HMS 在 XY 轴坐标， Z 轴…
第 2 部 功能详解篇 第 8 章 手动控制
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2) Z 轴移动
控制项目选择 [Z 轴移动]时，输入移动目标位置的坐标，按下[执行]按钮后，被选择的 Head
即会移动。
坐标，在移动完成时更新显示。
3)
θ
轴移动
控制项目选择 [
θ
轴移动]时，输入移动目标位置的坐标，按下[执行]按钮后，被选择的 Head
即会移动。
坐标，在移动完成时更新显示。
4) ZA 轴移动
控制项目选择 [ZA 轴移动]时，从下拉框中选择移动目的地高度并按[执行]按钮后，ZA 轴即移
动。
移动完成时下拉框旁边的当前高度会更新。
5) 真空控制
对所选择的 Head 的真空的 ON/OFF，进行控制。
控制项目选择 [真空控制]时，按 [ON]按钮，[OFF]按钮，[ON/OFF]按钮，进行控制。
压力状态，在控制结束时更新显示。
6) 吹风控制
对所选择的 Head 吹风的 ON/OFF，进行控制。
控制项目选择[吹风控制]时，按[ON]按钮，[OFF]按钮，[ON/OFF]按钮，进行控制。
压力状态，在控制结束时更新显示。
(3) 状态显示
XY 轴坐标，Z 轴坐标，
θ
轴坐标，压力值，在控制结束时显示。
压力值会连续显示。
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8-3-2 Head 设备控制
选择菜单的[Head]－[Head 设备控制]，即可显示 Head 设备控制画面。
(1) 状态
1) OCC
在 XY 轴坐标、照明(垂直照明，角度照明，外圈照明)的 ON 或 OFF 控制结束时显示。
外圈照明，在未设置选项的状态下显示为「＊＊＊＊」。
2) HMS
在 XY 轴坐标，Z 轴坐标控制结束后显示。
(2) 控制单元选择
用单选按钮选择控制对象单元。MS 参数的“选项单元”里没有勾选（没有安装）的单元，不能选
择。对机器设置[使用单元]里的设定，没有影响。
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(3) 控制项目
用单选按钮选择控制项目。
控制单元不同，显示的按钮不一样。
1) OCC
a) XY 轴移动
与 Head 控制的 XY 轴移动相同。
b) 垂直照明控制
对 OCC 的垂直照明的 ON/OFF，进行控制。
· 移动滑动条，设定光量。
· 选择“垂直照明控制”时, 按 [ON]按钮，[OFF]按钮，[ON/OFF]按钮，进行控制。
· 照明的状态，在控制结束时更新显示。
c) 角度照明控制
对 OCC 角度照明的 ON/OFF，进行控制。 与(b)垂直照明控制一样，要设定光量。
d) 外圈照明 (选购项)
对 OCC 外圈照明的 ON/OFF，进行控制。与(b) 垂直照明控制一样，要设定光量。
MS 参数中没有设定选项时，不能选择。
e) 极性控制
对 OCC 的极性正/反，进行控制。
勾选控制项目的“极性控制”时，用[正]按钮，[反]按钮，[正/反]按钮，进行控制。