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第 1 部 基本篇 第 1 章 装置概要 1- 12 ◆ 打开 安 全盖(安全罩) 时,先把 盖(罩) 子推上去 , 再把锁杆向箭头 ( LOC K )方 向推, 锁好 。 确认上了锁之 后, 再放开手。 ﹡没有上好 锁就松手时, 安全盖(安 全罩)有落下 来的危险。 ◆ 要关 安全 盖(安全罩) 时,要先解开锁,再 关闭。 把安全盖(安全 罩)向上提, 再把锁杆向 OPEN 方向推,解锁。 (请注意,解 锁时要防止安全盖(安全 罩)落…

第 1 部 基本篇 第 1 章 装置概要
1-11
1-1-6 本装置的构成
①ATC 单元 ⑤OCC 单元(R) ⑨CAL 块单元 ⑬CVS 单元
②LNC120 Head 单元 ⑥VCS 单元 ⑩供料器台架单元 ⑭负荷控制单元
③Head 单元
6 吸嘴贴片头、
3 吸嘴贴片头
⑦X-Y 单元 ⑪HMS 单元 ⑮排出导轨
④OCC 单元(L) ⑧基板传送单元 ⑫废弃盒
①前侧液晶监视器 ④信号灯 ⑦真空泵(装置内左侧)
②操作面板
⑤迷你信号灯
(
选购项
)
⑧漏电断路器(后部
-
右侧)
③电源开关
⑥空气调节器(护盖(罩)内侧
)
⑨后侧液晶监视器
①
②
⑦
③
⑤
⑧
⑥
④
⑤
⑨
③
①
②
⑥
⑦
⑨
④
⑩
⑪
⑫
⑬
⑭
⑤
⑧
⑮

第 1 部 基本篇 第 1 章 装置概要
1-12
◆ 打开安全盖(安全罩)时,先把盖(罩)
子推上去,再把锁杆向箭头(LOCK)方
向推,锁好。确认上了锁之后,再放开手。
﹡没有上好锁就松手时,
安全盖(安全罩)有落下来的危险。
◆ 要关安全盖(安全罩)时,要先解开锁,再关闭。
把安全盖(安全罩)向上提,
再把锁杆向 OPEN 方向推,解锁。
(请注意,解锁时要防止安全盖(安全罩)落下来受伤。)
﹡不要在安全盖(安全罩)、手杆等处过渡增加负荷。
◆维护 ATC 或 XY、Head 时,
进入装置内部作业时,请特别注意不要从后面
撞到安全盖(安全罩)或监视器,不要撞到头,
作业时不要受伤。
LOCK(锁定)状态 OPEN(打开)状态
<开关安全盖(安全罩)时的注意事项>
<在装置内作业时的注意事项>
注意不要撞到头部、身体

第 1 部 基本篇 第 1 章 装置概要
1-13
1-2 本装置的构造
1-2-1 基板传送部分的构造
・ 基板传送部的构成 (单通道)
1 IN
传感器
9
传送电磁阀
17 BU
销检出传感发光
2 OUT
传感器
10
传送马达
18 BU
销检出传感感光
3 IN_STOP
传感器光缆感光
11
驱动轴
19
夹紧解除杆
4 IN_STOP
传感器光缆发光
12
侧梁
20
夹紧解除传感器
5 OUT_STOP
传感器光缆感光
13
支撑台
IN
21
支撑导轨汽缸
6 OUT_STOP
传感器光缆发光
14
支撑台
OUT
22
挡块传感器
L
7 PWB
导轨
15
支撑销
23
挡块传感器
R
8 支撑台原点传感器 16 自动调整宽度马达
24
挡片止动 ST
25 挡片止动 XL
24
25
6
11
12
22.23
2
3
8
10
11
13
15
7
16
1・ 2
1
4
5
9
10
12
14
17
18
19
20
21
21