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第 1 部 基本篇 第 1 章 装置概要 1- 12 ◆ 打开 安 全盖(安全罩) 时,先把 盖(罩) 子推上去 , 再把锁杆向箭头 ( LOC K )方 向推, 锁好 。 确认上了锁之 后, 再放开手。 ﹡没有上好 锁就松手时, 安全盖(安 全罩)有落下 来的危险。 ◆ 要关 安全 盖(安全罩) 时,要先解开锁,再 关闭。 把安全盖(安全 罩)向上提, 再把锁杆向 OPEN 方向推,解锁。 (请注意,解 锁时要防止安全盖(安全 罩)落…

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1 基本篇 1 装置概要
1-11
1-1-6 本装置的构成
ATC 单元 OCC 单元(R) CAL 块单元 CVS 单元
LNC120 Head 单元 VCS 单元 ⑩供料器台架单 负荷控制单元
Head 单元
6 吸嘴贴片头、
3 吸嘴贴片头
X-Y 单元 HMS 单元 排出导轨
OCC 单元(L) ⑧基板传送单元 废弃盒
前侧液晶监视 信号灯 真空泵(装置内左侧)
操作面板
迷你信号灯
(
选购项
)
漏电断路器(后部
-
右侧)
电源开关
空气调节器(护(罩)内侧
后侧液晶监视
1 基本篇 1 装置概要
1-12
打开全盖(安全罩)时,先把盖(罩)
子推上去再把锁杆向箭头LOCK)方
向推,锁好确认上了锁之后,再放开手。
﹡没有上好锁就松手时,
安全盖(安全罩)有落下来的危险。
要关安全盖(安全罩)时,要先解开锁,再关闭。
把安全盖(安全罩)向上提,
再把锁杆向 OPEN 方向推,解锁。
(请注意,解锁时要防止安全盖(安全罩)落下来受伤。
﹡不要在安全盖(安全罩)、手杆等处过渡增加负荷。
维护 ATC XYHead 时,
进入装置内部作业时,请特别注意不要从后面
撞到安全盖(安全罩)或监视器,不要撞到头,
作业时不要受伤
LOCK(锁定)状态 OPEN(打开)状态
<开关安全盖(安全罩)时的注意事项>
<在装置内作业时的注意事项>
注意不要撞到头部、身体
1 基本篇 1 装置概要
1-13
1-2 本装置的构造
1-2-1 基板传送部分的构造
基板传送部的构 (通道)
1 IN
传感器
9
传送电磁阀
17 BU
销检出传感发
2 OUT
传感器
10
传送马达
18 BU
销检出传感感
3 IN_STOP
传感器光缆感
11
驱动轴
19
夹紧解除杆
4 IN_STOP
传感器光缆发
12
侧梁
20
夹紧解除传感器
5 OUT_STOP
传感器光缆感
13
支撑台
IN
21
支撑导轨汽缸
6 OUT_STOP
传感器光缆发
14
支撑台
OUT
22
挡块传感器
L
7 PWB
导轨
15
支撑销
23
挡块传感器
R
8 支撑台原点传感器 16 自动调整宽度马达
24
挡片止动 ST
25 挡片止 XL
24
25
6
11
12
22.23
2
3
8
10
11
13
15
7
16
1 2
1
4
5
9
10
12
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17
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19
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21
21