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第 2 部功能详解篇第 11 章自己诊断功能 11 - 21 设定 H ead 移动到真空校准上面，计测加压破坏状况 3 次。・显示第 2 次和第 3 次的平均值。・计测后显示的压力值图表，是第 3 次的数据。・请按下［确认］。

第 2 部功能详解篇第 11 章自己诊断功能

11-20

设定 Head 移动到真空校准上面，计测真空到达状况 3 次。

设定 Head 移动到真空校准上面，计测自然破坏状况 3 次。

・显示第 2 次和第 3 次的平均值。

・计测后显示的压力值图表，是第 3 次的数据。

・请按下［确认］。

第 2 部功能详解篇第 11 章自己诊断功能

11-21

设定 Head 移动到真空校准上面，计测加压破坏状况 3 次。

・显示第 2 次和第 3 次的平均值。

・计测后显示的压力值图表，是第 3 次的数据。

・请按下［确认］。

第 2 部功能详解篇第 11 章自己诊断功能

11-22

11-3-3-7 齿槽偏移量

从菜单选择[齿槽偏移量]，即显示齿槽偏移量的对话框。

此对话框可取得使用高负荷控制(选项)时必要的参数。

请在高负荷控制的精度降低时，或高负荷控制吸嘴购入后首次进行高负荷控制时，实施取得。

详情请参见第 12 章选项组件。