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第 1 部 基本篇 第 4 章 制作生产程序 4- 191 (1) 操作 ① 传送动作 可选择传送动作 。 可选 择搬入基板 、搬出 基板、释放 基板、重夹 。 启动时选择「 搬入 」。 ② 传送动作显示 根据 指定的传送动 作 、动作顺序 ，传送状态的 变化会显示 在图上。 ③ 搬入后的 B OC 标准设置 选择 是否基板搬入 后立即执行 B OC 校准 。 「按选项 执行」 ・・・ 按操作选项的预 先设置，决定是否进行 BOC 标记…
第 1 部 基本篇 第 4 章 制作生产程序
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4-5-2-5 基板控制
可进行基板的搬入及搬出。
选择菜单后，如果安全盖(安全罩)打开，为了将轴回避到安全位置，会显示以下对话框。
请确认安全后，按下<START>开关。
将轴回避到安全位置后，显示以下的基板传送对话框。
第 1 部 基本篇 第 4 章 制作生产程序
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(1) 操作
① 传送动作
可选择传送动作。可选择搬入基板、搬出基板、释放基板、重夹。
启动时选择「搬入」。
② 传送动作显示
根据指定的传送动作、动作顺序，传送状态的变化会显示在图上。
③ 搬入后的 BOC 标准设置
选择是否基板搬入后立即执行 BOC 校准。
「按选项执行」
・・・
按操作选项的预先设置，决定是否进行
BOC
标记识别。
「必须执行」
・・・
必须进行
BOC
标记识别。
「不执行」
・・・
不执行
BOC
标记识别。
④ 状态
显示传送动作执行中的信息。
显示传送方向、BOC 标记、加紧状态的信息。
⑤ 退避轴
退避轴。
⑥ 执行
按下执行按钮，执行[搬入]、[搬出基板]、[释放基板]、[重夹]动作。
⑦ 关闭
退出基板传送对话框。
要执行传送时按<START>开关（或[执行]按钮）。
要结束操作时，按[关闭]按钮。
传送过程中由于某种理由要取消操作时，可按<STOP>开关停止。
(2) 传送通道动作状态
① 搬入（基板安装）
将基板搬入至夹紧缓冲区，进行固定。
这时固定的位置会按照设置的设定或基板的外形尺寸而变化。
在固定位置上已有基板时，会搬出后再搬入。
② 搬入(第 2 次)
进行第 2 阶段的固定。
③ 搬出基板
将基板从固定位置搬出。
基板搬出时，在 OUT 传感器近前会减速，在低速的状态下进行 OUT 传感器检测。
在夹紧解除的状态下，基板搬出动作会以低速进行搬出动作。
④ 释放基板
基板被固定时，解除固定。
⑤ 重夹
基板在固定位置上时，进行重夹动作，固定基板。
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○ 双通道传送时
双通道传送时，前后通道的传送动作状态会并列显示。
可选择要控制对象的传送通道。