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第 1 部 基本篇 第 1 章 装置概要 1- 13 1- 2 本装置的构造 1-2- 1 基板传送部分的构造 ・ 基板传送部的构 成 ( 单 通道 ) 1 IN 传感器 9 传送电磁阀 17 BU 销检出传感发 光 2 OUT 传感器 10 传送马达 18 BU 销检出传感感 光 3 IN_STO P 传感器光缆感 光 11 驱动轴 19 夹紧解除杆 4 IN_STO P 传感器光缆发 光 12 侧梁 20 夹紧解除传感器 5 OUT…
第 1 部 基本篇 第 1 章 装置概要
1-12
◆ 打开安全盖（安全罩）时，先把盖（罩）
子推上去，再把锁杆向箭头（LOCK）方
向推，锁好。确认上了锁之后，再放开手。
﹡没有上好锁就松手时，
安全盖（安全罩）有落下来的危险。
◆ 要关安全盖（安全罩）时，要先解开锁，再关闭。
把安全盖（安全罩）向上提，
再把锁杆向 OPEN 方向推，解锁。
（请注意，解锁时要防止安全盖（安全罩）落下来受伤。）
﹡不要在安全盖（安全罩）、手杆等处过渡增加负荷。
◆维护 ATC 或 XY、Head 时，
进入装置内部作业时，请特别注意不要从后面
撞到安全盖（安全罩）或监视器，不要撞到头，
作业时不要受伤。
LOCK（锁定）状态 OPEN（打开）状态
＜开关安全盖（安全罩）时的注意事项＞
＜在装置内作业时的注意事项＞
注意不要撞到头部、身体
第 1 部 基本篇 第 1 章 装置概要
1-13
1-2 本装置的构造
1-2-1 基板传送部分的构造
・ 基板传送部的构成 (单通道)
1 IN
传感器
9
传送电磁阀
17 BU
销检出传感发光
2 OUT
传感器
10
传送马达
18 BU
销检出传感感光
3 IN_STOP
传感器光缆感光
11
驱动轴
19
夹紧解除杆
4 IN_STOP
传感器光缆发光
12
侧梁
20
夹紧解除传感器
5 OUT_STOP
传感器光缆感光
13
支撑台
IN
21
支撑导轨汽缸
6 OUT_STOP
传感器光缆发光
14
支撑台
OUT
22
挡块传感器
L
7 PWB
导轨
15
支撑销
23
挡块传感器
R
8 支撑台原点传感器 16 自动调整宽度马达
24
挡片止动 ST
25 挡片止动 XL
24
25
6
11
12
22.23
2
3
8
10
11
13
15
7
16
1・ 2
1
4
5
9
10
12
14
17
18
19
20
21
21
第 1 部 基本篇 第 1 章 装置概要
1-14
基板传送部的构成 (双通道)
20
21
22