RX-6 使用说明书 用户使用 Rev11.pdf - 第829页
第 2 部 功能详解篇 第 8 章 机器设置 8- 77 8-4- 5 OCC/HMS 控制 [ 控制单元 ] 指定 OCC 时，可进行 OCC 控制； 指定 H MS 时可进行 H MS 传感器控制。 按下 [ 垂直照明 ][ 角度照明 ][ 外圈照明 ] 的 [ ON ][ OF F ] 按钮 ，即 对 控制单元 中选择的 OCC 进行照明 控制。外圈照明 仅当设置 有效时才能选择 。 选择 [ H MS ] 的「 传感器 ON 」…
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8-76
8-4-4 空气控制
[ 控制单元 ]指定 Head，可进行吹气、真空控制。
按下[ 吹气 ]、[ 真空 ]的[ ON ][ OFF ]按钮，进行控制单元中选择的 Head 的吹气控制、真空控制。
吹气控制、真空控制不能对相同 Head 同时设置 ON。
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8-4-5 OCC/HMS 控制
[ 控制单元 ]指定 OCC 时，可进行 OCC 控制；指定 HMS 时可进行 HMS 传感器控制。
按下[ 垂直照明 ][ 角度照明 ][ 外圈照明 ]的[ ON ][ OFF ]按钮，即对控制单元中选择的 OCC 进行照明
控制。外圈照明仅当设置有效时才能选择。
选择[ HMS ]的「传感器 ON」「 传感器 OFF」时，即对控制单元中选择的 HMS 进行传感器控制。
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8-4-6 单元 1
可对ATC（滑板）、支撑台、安全盖锁定、传送挡块、传送、AWC进行控制。
・ 单元 1(单通道)
・ 单元 1(双通道)
(1) ATC・・・・・・・・可进行各 ATC 的滑板「OPEN / CLOSE」控制。
(2) 支撑台・・・・・・・可进行支撑台的「UP / DOWN」控制。
(3) 安全盖锁定・・・・・可执行前/后的 「安全盖锁定 ON/OFF」。
(4) 传送挡块・・・・・・可执行传送挡块（OUT 侧）的「ON/OFF」。
(5) 夹紧(仅双通道传送)・ 可执行仅双通道传送存在的夹紧气缸的「ON / OFF」。
(6) 传送控制・・・・・・按下[基板幅调整]按钮，即显示基板宽度调整画面。
按下[传送控制]按钮时，即显示基板传送主画面。