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第 2 部 功能详解篇 第 8 章 机器设置 8- 29 (1) 设置项目 No. 项目 设置内容 1 支撑台 (前/后) 基板下 降限制 ( ※ 2) 设置 支撑台 的 基板下降 限制 值。 2 推进量 ( ※ 2) (通常、 陶瓷) ( ※ 1) 设置 支撑台的推进 量。 3 加速度 ( ※ 2) (上升、下降) 设置 支撑台 的 加速度。 4 陶瓷 基板判定尺寸 ( X 、 Y ) 设置陶瓷 基板判定尺寸 。 ※ 1 推 进量的陶…

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2 功能详解篇 8 机器设置
8-28
8-3-3-2 支撑台
选择支撑台,会显示以下画面。
点击各选项卡,可指定[基板传送][支撑台]
双通道传送时,将「前侧/后侧为相同设置」设定为 OFF,也可分别设定前后通道。
2 功能详解篇 8 机器设置
8-29
(1) 设置项目
No.
项目
设置内容
1
支撑台
(前/后)
基板下降限制(2)
设置支撑台基板下降限制值。
2
推进量(
2)
(通常、陶瓷)(1)
设置支撑台的推进量。
3
加速度(
2)
(上升、下降)
设置支撑台加速度。
4
陶瓷基板判定尺寸
XY
设置陶瓷基板判定尺寸
1 进量的陶瓷的项目
勾选操作选项的生·其他的使用陶瓷基板,且基板的尺寸XY为不足 150mm 时,即判断使
陶瓷基板,使用陶瓷项目中输入的推进量即使不是陶瓷基板,只要是不足 150mm 基板尺寸,且
在操作选项已设置时,也会适用陶瓷项目中输入的推进量。
但是,即使是陶瓷基板,如果是 150mm 以上基板,则适用通常推进量
2 如果生产程序已指定了传送设定时,则适用生产程序的设定。
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(2) 设置方法
1)
基板下降限制
a) 单位为 mm 时,可输入数 540
2)
推进量(仅单通道传送
a) 单位为 mm 时,可输入数 0.005.00
(双通道传送时,由于基板缸夹紧,因此不设定补偿量)
3)
加速度
a) 使用组合框可输入 5 个级别
4)
陶瓷基板判定尺寸
a) 单位为 mm 时,可输入数 50.00905.00