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第 1 部 基本篇 第 1 章 装置概要 1- 19 后侧 H ead 3 吸嘴 H ead ST ①吸嘴外圈 ④ Z 滑动轴 ⑦ Head 上升汽缸 ② LNC1 20 传感 器 ⑤ θ 轴马达 ⑧过滤器箱 ③ Z 轴马达 ⑥滚珠丝杠 ② ①④ ③ ⑥ ⑦ ⑤ ⑧
第 1 部 基本篇 第 1 章 装置概要
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1-2-3 Head 单元的构成
Head 由检查元件位置偏移、角度偏移的激光传感器，以及可上下驱动、旋转动作的 Z 滑动轴构成。
本机的构成如下。
机型名及 Head 的关系列表如下
Head 规格 SS ST RR
前侧 Head 6 吸嘴 Head 6 吸嘴 Head 6 吸嘴 Head(RX-6R 专用)
后侧 Head 6 吸嘴 Head 3 吸嘴 Head 6 吸嘴 Head(RX-6R 专用)
前侧 Head 6 吸嘴 Head SS，ST, RR
后侧 Head 6 吸嘴 Head SS, RR
①吸嘴外圈
④
Z
滑动轴
⑦
Head
上升汽缸
②
LNC120
传感器
⑤
θ
轴马达
⑧过滤器箱
③
Z
轴马达
⑥滚珠丝杠
⑨
EPV
②
①④
①④
③
⑥
⑦
⑤
⑧
⑨
②
第 1 部 基本篇 第 1 章 装置概要
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后侧 Head 3 吸嘴 Head ST
①吸嘴外圈
④
Z
滑动轴
⑦
Head
上升汽缸
②
LNC120
传感器
⑤
θ
轴马达
⑧过滤器箱
③
Z
轴马达
⑥滚珠丝杠
②
①④
③
⑥
⑦
⑤
⑧
第 1 部 基本篇 第 1 章 装置概要
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1-2-3-1 OCC 的构成
使用摄像机检测出基板标记的位置，进行自动校正。
标准装备有同轴反射照明及偏光滤光器。
※
OCC
用照明，对摄像机拍摄图像时按快门瞬间的照明亮灯进行控制。因此，执行摄像机示教时，
OCC
照明会连续闪烁。
角度照明 垂直照明
①
CCD
摄像机
② OCC 镜片
③ OCC 照明单元
④ 偏光滤光器
⑤ 照明LED基板
①
②
③
④
④
⑤