RX-6 使用说明书 用户使用 Rev11.pdf - 第930页
第 2 部 功能详解篇 第 11 章 自己诊断功能 11 - 15 11 -3-3- 5 激光 / 传感高度 从自己诊断菜单 选择 [ 激光 / 传感高度 ] ，即显示激光 / 传感高度 的对话框 。 设置从基板 表面看到的 各 H ead 的 Z 轴 原点位置的激光 / 传感测量高度 。 多次发生 激光识别错误 时， 请确 认生产程序的 「元件数据」 ， 之后 再设置机器设置的 「 ATC 吸嘴分 配」。如果仍然 没有改善时，请通过本…
第 2 部 功能详解篇 第 11 章 自己诊断功能
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设置值的保存及退出
在[Head 偏移量] [激光/传感高度] [VCS 偏移量]的各设置画面中，有＜确定＞及＜取消＞按钮。即
使选择＜确定＞，此时也不会保存。
各项目的设置值测量后，点击画面右上的关闭按钮
[×]、或按下信息区域的退出按钮，会显示是否保
存的提问信息。
此时选择＜是＞即保存。
No.
选择按钮
处理
1
是
保存设置值，显示各
I/O
的安全方向设置询问提示。
2
否
使设置值无效，显示各
I/O
的安全方向设置询问提示。
警告
按[是]，轴即移动，开始各 I/O 安全方向设置。
按[是]前，请务必确认没有人正在进行装置内部的作业。为了防止人身伤
害，运行中切勿将手伸入装置内部，也不要将脸和头靠近装置。
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11-3-3-5 激光/传感高度
从自己诊断菜单选择[激光/传感高度]，即显示激光/传感高度的对话框。
设置从基板表面看到的各 Head 的 Z 轴原点位置的激光/传感测量高度。
多次发生激光识别错误时，请确认生产程序的「元件数据」，之后再设置机器设置的「ATC 吸嘴分
配」。如果仍然没有改善时，请通过本功能重新设置。
重新设置激光/传感高度后，请务必重新设置「ATC 吸嘴分配」。
(1) 保存值/计测值
保存值显示 MS 参数中设置的值，计测值显示测量的值。
显示后即刻、或未测量的 Head 不显示计测值。
计测完成后，相应 Head 的计测值会显示蓝色。
计测发生错误时，会显示红色的"Err"。
(2) Head 选择
在 Head 选择组里勾选其中的复选框选择要计测的 Head。可同时选择多个计测对象 Head。
按[全部选择]按钮，可对[F] (前)[R] (后)的各设备 Head 单元的 Head 进行全选、解除。
(3) 操作
1)进度条
显示测量的经过。测量结束后变为 100%。
2)跳过激光错误测量
勾选[跳过激光错误测量]，按[确认]按钮，即跳过激光错误。
激光识别错误、或测量结果在规定范围以外时不会显示询问提示而显示”Err”，之后如果对
象 Head 单元内有未测定的 Head，即进行该 Head 的测定动作。
如果要再次测定发生错误的 Head，请在测定完成后(进度条变为 100%后)，再次选择
Head，按下[确认]按钮。
3)[确认]按钮
按[确认]按钮后，各 Head 单元即移动到等待位置，开始计测。
详情请参见以下小项「设置方法」。
警告
按[确认]，轴即移动。
按[确认]前，请务必确认没有人正在进行装置内部的作业。为了防止人身
伤害，运行中切勿将手伸入装置内部，也不要将脸和头靠近装置。
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设置方法
按照[操作]中显示的指示进行操作，即可自动取得数值。
(1) 吸嘴分配
激光/传感高度计测，要使用 500 号～503 号、505 号～507 号吸嘴中的任何一个。
如果计测对象 Head 的 ATC 中没有分配上述吸嘴，会发生错误。上述吸嘴未分配时，请在计测
前通过「机器设置」的「ATC 吸嘴分配」分配吸嘴。
(2) Head 选择
选择要计测的 Head。可选择多个。
(3) 开始计测
按[确认]按钮，开始计测。
计测中的 Head 单元格会显示蓝色。