RX-6 使用说明书 用户使用 Rev11.pdf - 第874页
第 2 部 功能详解篇 第 9 章 手动控制 9- 43 9-6- 6 伺服状态 选择 菜单 的 [ 其他 ] － [ 伺服状态 ] ， 即可显示伺服 状态对话框 。 (1 ) 伺服状态 显示伺服 当前的状态。出现 错误的单元 显示为红色。 将光标移动到单 元或各传感器的图标上， 可显示工具信息提示。 单元 Y 轴右 放大器 马达 界限传感器 正 / 负 Y 轴左 放大器 马达 界限传感器 正 / 负 马达 X 轴 放大器 马达 界限传…
第 2 部 功能详解篇 第 9 章 手动控制
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9-6-5-2 轴反馈位置信息
在驱动器状况对话框里，按下[轴反馈位置信息]按钮，即可显示轴反馈位置信息。
第 2 部 功能详解篇 第 9 章 手动控制
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9-6-6 伺服状态
选择菜单的[其他]－[伺服状态]，即可显示伺服状态对话框。
(1) 伺服状态
显示伺服当前的状态。出现错误的单元显示为红色。
将光标移动到单元或各传感器的图标上，可显示工具信息提示。
单元
Y 轴右
放大器
马达
界限传感器
正
/
负
Y 轴左
放大器
马达
界限传感器 正/负
马达
X 轴
放大器
马达
界限传感器 正/负
θ1
～
θ6
Z1 ～ Z6
位置板
Y 轴干涉
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9-6-7 元件验证控制
选择菜单[其他]－[元件验证]，即可显示元件验证控制画面。
MS 参数的选项设定中未勾选时不能选择此项。
(1)状态
1)探针 No
显示测量时使用的探针 No。
2)计测结果
测量结束后显示计测结果。
(2)选择设备
选择要计测的有元件的 Head 单元。
(3)移到计测位置 XY
将指定的 Head，移到计测位置 XY。
(4)控制项目
用单选按钮选择控制项目。
1) 电容计测
计测电容元件的容量。按[计测]按钮、[模式]按钮进行控制。
2) 二极管计测
计测二极管元件的极性。按[计测]按钮、[模式]按钮进行控制。
3） 电阻计测
计测电阻元件的电阻值。按[计测]按钮、[模式]按钮进行控制。