RX-6 使用说明书 用户使用 Rev11.pdf - 第850页

第 2 部 功能详解篇 第 9 章 手动控制 9- 19 9-4-1- 1 控制对象:基板传送 按下 [ 基板 传送 ] 按钮, 即可 显示如 下画面。 (1) 状态 马达 / 传感器 的 状态,用 ON/OFF 显示 。 IN 侧的 STOP 传感器的状 态在选项挡块生 效时会显 示。 ( 2) 控制 项目 用单选按钮选择 控制项目。 按 [ 执行 ] 按钮后,即开始按 选择 的控 制执行。 1) 初始化 将基板传送 进行初始化。 2…

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2 功能详解篇 9 手动控制
9-18
用画面中央的按下式按钮,可选择控制对象。
后面将详细说明参见 9-4-1-1 控制对象:基板传送以后的章节
No.
显示项目
显示图
显示内容
1
支撑台挡块
支撑台挡块处于
OFF
状态。
支撑台挡块处于 ON 状态。
2
支撑台原点传感
支撑台原点传感器处于
OFF
状态。
支撑台原点传感器处于 ON 状态。
3
IN 缓冲选择器
OUT 缓冲选择器
IN/OUT
缓冲选择器处
OFF
状态。
IN/OUT 缓冲选择器处于 ON 状态。
4
准备搬入Ready In ·
准备搬出(Ready Out
Ready In/ Out
处于
OFF
状态。
Ready In/ Out 处于 ON 状态。
5
可以搬入基板
(Board available In)·
可以搬出基板
(Board available Out)
Board
available
In/Out
处于
OFF
状态。
Board available In/Out 处于 ON 状态。
6
传送挡块(L)
传送挡块(R)
传送挡块处于
OFF
状态。
传送挡块处于 ON 状态
(仅在使用传送挡块时,才会显示)
2 功能详解篇 9 手动控制
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9-4-1-1 控制对象:基板传送
按下[基板传送]按钮,即可显示如下画面。
(1) 状态
马达/传感器状态,用 ON/OFF 显示
IN 侧的 STOP 传感器的状态在选项挡块生效时会显示。
(2) 控制项目
用单选按钮选择控制项目。
[执行]按钮后,即开始按选择的控制执行。
1)初始化
将基板传送进行初始化。
2)基板搬入
基板停止方式指定的方式搬入基板。
3)基板搬出
搬出基板。
4)基板固定解除
释放基板。
5)基板重夹
基板停止方式中指定的方式对传送通道上的基板进行重夹。
6) 2 段夹紧
将基板安装到长尺寸基板第二段夹紧位置。
双通道传送时
双通道传送时,要指定前后通道。
2 功能详解篇 9 手动控制
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9-4-1-2 控制对象:自动调整基板宽度
按下[自动调整基板宽度]按钮即可显示以下画面
自动基板宽度调整(单通道)
(1) 状态
显示各种传感器基板搬送宽度的状态
IN 侧的传送挡块的状态在选项挡块生效时会显示。
(2) 控制项目
用单选按钮选择控制项目。
[执行]按钮后,开始进行与选择项目对应的控制
1) 返回原点
自动调整基板宽度返回原点。
2) 变更幅度
按照“基板幅度编辑框中输入的值,变更搬送宽度