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操作手册 I 3- 55 (2) 管道系统图（ Hea d ） 第 7 排 第 1 排 过滤器 吸嘴 压力 传感器 V ：来自负压（ φ 8 ）真空泵 V ：来自负压（ φ 8 ）真空泵 P ：来自正压（ φ 8 ）真空泵 大气开放 检查阀 P ：来自正压（ φ 6 ）空气单元 气缸 气缸
操作手册 I
3-54
ｂ-负压
真空泵
弯管接头
12
插头φ8
直通接头
直通接头
直通接头
直通接头
Head电磁阀
Front
多支管
插头φ8
直通接头
节流器
插头φ12
空气
(N)传感器
电缆（组）
节流器
CAL
Front
转换接头
直通接头
M5
插头
Head电磁阀
Rear
操作手册 I
3-55
(2)
管道系统图（
Head
）
第
7
排
第
1
排
过滤器
吸嘴
压力
传感器
V：来自负压（
φ
8）真空泵 V：来自负压（
φ
8）真空泵
P：来自正压（
φ
8）真空泵
大气开放
检查阀
P：来自正压（
φ
6）空气单元
气缸 气缸
操作手册 I
3-56
(3)
管道系统图（统一更换台）
No.
件号
品名
①
PA800750100
AIR CYLINDER
②
PA800750200
AIR CYLINDER
③
PV015125000
MANUAL VALVE
④
PV025103000
CHECK VALVE
⑤
40093976
SP
EED_CONTROLLER
⑥
PX055104000
SILENCER
⑦
PV010505100
MECHANICAL VALVE
⑧
PV010505000
MECHANICAL VALVE
<
电动更换台专用规格
>
前后通用