RX-6 使用说明书 用户使用 Rev11.pdf - 第295页

操作手册 I 3-4 更换间隔 :每 1 年更换 1 次。或压力 下降达到 约 100 k Pa ( 1kgf / cm 2 ) 时。 更换方法 1 )请关闭指 状阀的旋纽。 打开状态 状态关闭 2 ) 按住旋钮部位 , 向左右任意一侧 旋转 45 度,然后 拔出。 3 )将固定过滤器零件 B 的 树脂零件向左旋转,拆 卸过滤器零件 B 。将过 滤器零件 A 本身向左旋转 后拆 下过滤器零件 A 。 4 ) 安装时,请按 照相反的 步骤…

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操作手册 I
3-3
各部分的检查
1触摸画面右上部,确认使用气压为 500±50kPa
2)若压力值不在上述范围内,请检查工厂内是否有空气泄漏。如果没有异常,请按「调整方法」重新调
整压力。
3) 请倒干净排水管连接的瓶里存的水、油。
1) 打开旋钮①。
关闭状态 打开状态
2) 向上拉「调节器旋钮②」,旋转旋钮,把使用的空气压力调整 500Pa
检查项目
3-1-1 气压、排水瓶
实施频度 :每天
检查内容
确认初压,检查排水
调整方法
调整初压
瓶内存了水、油,请倒干净
操作手册 I
3-4
更换间隔
:每1年更换1次。或压力下降达到100Pa1kgfcm
2
时。
更换方法
1)请关闭指状阀的旋纽。
打开状态 状态关闭
2按住旋钮部位向左右任意一侧旋转 45 度,然后拔出。
3)将固定过滤器零件B树脂零件向左旋转,拆卸过滤器零件B。将过滤器零件A本身向左旋转后拆
下过滤器零件A
4安装时,请按照相反的步骤进行操作
注意
在开始作业前,请关闭指状阀的旋纽。
1) 請確認待機狀態的最大负压表示,達到-88kPa
2) 最大负压表降低到-88kPa 以下时,需要更换消耗零件。
请按照「4-7-2 真空泵零件的更换」进行消耗零件的检查、更换。
检查更换
更换过滤器零件
更换标准
1
检查项目
3-1-2 真空泵压力
实施频度 :每天
检查内容
确认真空压力
过滤器零件
PX5000630A0
过滤器零件
PX500064000
树脂零件
旋钮部位
-88.805
操作手册 I
3-5
1) 请确认没有漏气。
1接通主机电源后,请选择「手动控制」项目,检查下列各项目的动作状况。
基板挡块部
夹杆 Y
ATC 单元
手动控制
操作说明书 9 手动控制」
此功能用于确认各项动作、检查传感器的/关
2)如果动作有问题,请参考 4-8 管道系统图进行检查。
检查项目
3-1-3 管道及接头
实施频度 :每周
检查内容
检查气压管道部分是否漏气
检查项目
3-1-4 各单元气缸
实施频度 :每周
检查内容
检查各气缸的动
检查漏气
<左侧内侧>
指状阀
选择功能栏的手动控制
启动功能。