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第 2 部 功能详解篇 第 8 章 机器设置 8- 57 如果标记相对 基板 的映像 较黑,请按选择设备的摄 像机按钮。 切换极性,相对 基板映像较黑的标记会变 得较白。 使用摄像机按钮 切换极性,仅当测量框输 入时有效。 3) 确定测量框 后,则进行阈 值 测量 动作 。 有标记位置与无 标记位置交互 进行设别动作 。

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8-3-6-2 坏板标记示教
选择坏板标记示教,会显示如下画面。
(1) 设置项目
No.
项目
设置内容
1
有标记位置 坏板标记中心位置的 X 坐标、Y 坐标
2
无标记位置 没有坏板标记位置(基板表面)
3
设置 OCC 坏板标记 用摄像机识别坏板标记时的阈值
(2) 设置方法
1) 用软键盘分别输入。
2) 通过操作区域的示教输入
3) XY 的位置,无论输入焦点是在 X 还是在 Y,均可同时取得并反映出
(3) 执行动作(OCC)
1) 将焦点放在设置 OCC 坏板标记阈值,按操作选项区域的示教即可开始进行示教。
2) 确认坏板标记位置的坐标后,指定检测框的位置(左上、右下)。可通过示教画面的方向键改变
测框的尺寸,按[ENTER]按钮确定。
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如果标记相对基板的映像较黑,请按选择设备的摄像机按钮。
切换极性,相对基板映像较黑的标记会变得较白。
使用摄像机按钮切换极性,仅当测量框输入时有效。
3)确定测量框后,则进行阈测量动作
有标记位置与无标记位置交互进行设别动作
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4) 测量后取得阈值后,按[OCC 坏板标记信息]按钮即显示结果。