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第 2 部 功能详解篇 第 9 章 手动控制 9-5 2)Z 轴移动 控制 项目 选择 [Z 轴移动 ] 时，输入移动目标位置的坐标，按下 [ 执行 ] 按钮后，被选择 的 He ad 即会 移动 。 坐标，在移动完 成时更新显示。 3) θ 轴移动 控制 项目选择 [ θ 轴移动 ] 时，输入 移动目标位置的坐 标，按下 [ 执行 ] 按钮后，被 选择的 H ead 即会 移动。 坐标，在移动完 成时更新显示。 4) 真空控制 对所 …
第 2 部 功能详解篇 第 9 章 手动控制
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9-3 Head
9-3-1 Head 控制
选择菜单的[Head]－[Head 控制]，即可显示 Head 控制画面。
用装置选择按钮，可切换到各 Head 单元的控制。
(1) 选择控制对象 Head
用单选按钮，选择控制对象 Head。
对机器设置[使用单元]里的设定，没有影响。
(2) 控制项目
用单选按钮选择控制项目。真空与吹风不能同时 ON。
1)XY 轴移动
控制项目选择 [XY 轴移动]时，输入移动目标位置的坐标，按下[执行]按钮，即可按选择的控制
单元基准进行移动。
坐标，在移动完成时更新显示。
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2)Z 轴移动
控制项目选择 [Z 轴移动]时，输入移动目标位置的坐标，按下[执行]按钮后，被选择的 Head
即会移动。
坐标，在移动完成时更新显示。
3)
θ
轴移动
控制项目选择 [
θ
轴移动]时，输入移动目标位置的坐标，按下[执行]按钮后，被选择的 Head
即会移动。
坐标，在移动完成时更新显示。
4)真空控制
对所选择的 Head 的真空的 ON/OFF，进行控制。
控制项目选择 [真空控制]时，按 [ON]按钮，[OFF]按钮，[ON/OFF]按钮，进行控制。
压力状态，在控制结束时更新显示。
5)吹风控制
对所选择的 Head 吹风的 ON/OFF，进行控制。
控制项目选择[吹风控制]时，按[ON]按钮，[OFF]按钮，[ON/OFF]按钮，进行控制。
压力状态，在控制结束时更新显示。
(3) 状态显示
XY 轴坐标，Z 轴坐标，
θ
轴坐标，压力值，在控制结束时显示。
压力值会连续显示。
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9-3-2 Head 设备控制
选择菜单的[Head]－[Head 设备控制]，即可显示 Head 设备控制画面。
(1) 状态
1) OCC
在 XY 轴坐标、照明(垂直照明，角度照明，外圈照明)的 ON 或 OFF 控制结束时显示。
外圈照明，在未设置选项的状态下显示为「＊＊＊＊」。
2) HMS
在 XY 轴坐标，Z 轴坐标控制结束后显示。
(2) 控制单元选择
用单选按钮选择控制对象单元。MS 参数的“选项单元”里没有勾选（没有安装）的单元，不能
选择。对机器设置[使用单元]里的设定，没有影响。