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第 2 部 功能详解篇 第 9 章 手动控制 9- 22 3) 移动基准轨道 (R) 从 “ 基准轨道位置 ” 的组合框选 择基准轨道的 移动目标。 「 双通道 (M) 」: 将后侧的基准轨 道移动到用双 通道传送里侧 尺寸长度 250mm 以内 基板时的默认 位置 上。 「双通道 (S) 」 ( 仅近前轨道基 准规格) : 将后侧的基准轨 道, 后侧通道拉近, 移动到用双通 道传送里侧 长度 150mm 以内的 基板时 的默认位置。 …

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自动基板宽度调整(双通道)
(1) 状态
显示各种传感器、基板传送宽度的状态。
(2) 选择设备
双通道传送时,要指定前后通道。
(3) 控制项目
通过单选按钮选择控制项目。
[执行]按钮,即开始进行选择的项目对应的控制。
1) 返回原点
执行自动基板宽度调整的返回原点双通道传送时将通过 OCC 识别宽度调整的轨道标记
2) 变更幅度
按照“基板幅度”编辑框中输入的值,变更传送的宽度(幅度)
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3) 移动基准轨道(R)
基准轨道位置的组合框选择基准轨道的移动目标。
双通道(M)」:
将后侧的基准轨道移动到用双通道传送里侧尺寸长度 250mm 以内基板时的默认位置上。
「双通道(S)仅近前轨道基准规格)
将后侧的基准轨道,后侧通道拉近,移动到用双通道传送里侧长度 150mm 以内的基板时
的默认位置。
单通道」:
为了在单通道里可对应基板里侧长度 450mm 以内的基板,将后侧通道的宽度缩到最小,
并移到后侧。
轨道退让至前」:
为了便于从后侧进行支撑台更换等作业,将可动轨道全部移到前侧
轨道退让至后侧」:
为了便于从后侧进行支撑台更换等作业,将可动轨道全部移到后侧
用户设置位置」:
将基准轨道移动到机器设置的传送位置调整中设定的位置。
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9-4-1-3 控制对象:马达
按下[马达]按钮后,即可显示以下画面。
· 马达(单通道)
· 马达(双通道)
(1) 马达选择
用单选按钮选择马达控制。
(双通道传送时,由于马达不区分 IN/OUT,不需选择)
(2) 旋转方向
用单选按钮选择马达旋转方向。
(3) ON/OFF 按钮
[ON]按钮,[OFF]按钮,[ON/OFF]按钮,对选择的马达进行 ON/OFF 控制
(4) 选择前/(仅双通道传送)
双通道传送时,用单选按钮选择前后通道