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操作手册 I 3- 56 (3) 管道系统图（统一更换台） No. 件号 品名 ① P A80075010 0 AIR C YLINDER ② P A80075020 0 AIR C YLINDER ③ PV015125 000 MANUAL V AL VE ④ PV025103 000 CHECK V AL V E ⑤ 40093976 SP EED_C ONTROLLER ⑥ PX055104 000 SILENCE R ⑦ PV0…
操作手册 I
3-55
(2)
管道系统图（
Head
）
第
7
排
第
1
排
过滤器
吸嘴
压力
传感器
V：来自负压（
φ
8）真空泵 V：来自负压（
φ
8）真空泵
P：来自正压（
φ
8）真空泵
大气开放
检查阀
P：来自正压（
φ
6）空气单元
气缸 气缸
操作手册 I
3-56
(3)
管道系统图（统一更换台）
No.
件号
品名
①
PA800750100
AIR CYLINDER
②
PA800750200
AIR CYLINDER
③
PV015125000
MANUAL VALVE
④
PV025103000
CHECK VALVE
⑤
40093976
SP
EED_CONTROLLER
⑥
PX055104000
SILENCER
⑦
PV010505100
MECHANICAL VALVE
⑧
PV010505000
MECHANICAL VALVE
<
电动更换台专用规格
>
前后通用
操作手册 I
3-57
(4)
管道系统图
(
切带器，
2
处通用
)
No.
件号
品名
①
PA800600100 AIR CYLINDER
②
40093976 SPEED_CONTROLLER
③
PV155207000 SOLENOID VALVE
④
PX055104000 SILENCER
切断方向
φ6
φ6
切断方向
前后通用