RX-6 使用说明书 用户使用 Rev11.pdf - 第923页
第 2 部 功能详解篇 第 11 章 自己诊断功能 11 -8 11 -3-3- 2 过滤器弄脏检查 从自己诊断菜单 上 选择 [ 过滤器 沾污 ] ，即可 显示 过滤器 弄 脏检查对 话框 。 指定要检查的供 料器台架，或 Head ，按下 [ 执行 检查 ] 按钮， 执行过滤 器脏污检查 。 还可用「全检查 」，对全 部 Head 的选择 / 非 选择 状态进行统 一变更。 检查 结果，按各供 料器台架 列表显示。
第 2 部 功能详解篇 第 11 章 自己诊断功能
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检查结果，在「识别结果」上按每个供料器台架显示。
识别结果详细情况如下。
识别结果
概要
OK 识别共通标记成功。
识别错误 识别共通标记出现错误。
脏污错误 共通标记脏污。
共通标记识别出现错误时，会输出如下提示信息。
对检出共通标记识别错误的站台（工作台）进行检查，确认是否共通标记上有异物、或共同标记脏污。
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11-3-3-2 过滤器弄脏检查
从自己诊断菜单上选择[过滤器沾污]，即可显示过滤器弄脏检查对话框。
指定要检查的供料器台架，或 Head，按下[执行检查]按钮，执行过滤器脏污检查。
还可用「全检查」，对全部 Head 的选择/非选择状态进行统一变更。
检查结果，按各供料器台架列表显示。
第 2 部 功能详解篇 第 11 章 自己诊断功能
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表中的各项目内容如下。
项目
内容
真空 真空的 ON/OFF 状态。
值 无吸嘴真空值。
判定
显示过滤器脏污检查的判定结果。
正常退出时显示「OK」，过滤器脏污检出时显示「错误」。
过滤器脏污的判定，取得的真空值在可安装吸嘴的真空下限值（过滤器堵塞检查值）以下时，为错误。
此外，取得的真空值，大于（LNC120 过滤器不良判定值＋吸嘴更换 过滤器不良判定阈值）时，亦
为错误。
共通设定项目如下。
设定值
内容
LNC120 过滤器不良判定值 LNC120 的过滤器不良判定值
更换吸嘴
过滤器不良判定阈值
更换吸嘴时判定过滤器不良的阈值
更换吸嘴
等待真空上升重试时的延迟时
间（1/1000Sec）
更换吸嘴时，真空上升结束以前的延时时间
更换吸嘴
等待真空上升重试次数
更换吸嘴时，真空上升结束以前的重试次数
「确定」按钮，保存共通设定，关闭画面。
「取消」按钮，不保存共通设定，关闭画面。
出现过滤器脏污错误时，会输出如下信息。
请检查被检出过滤器脏污的 Head 有无堵塞，确认气是否畅通。
此外，请确认是否有气下降现象、真空泵是否已到了更换日期。