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第 2 部 功能详解篇 第 11 章 自己诊断功能 11 -6 11 -3-3- 1 共通标记弄脏检查 从自己诊断菜单 里 选择 [ 共通 标记沾污 ] ， 即可显示共通 标记弄脏检查 对话框 。 在「 选择设备 」里指定要检查的 供料器台架，按下 「执行检查」 按钮，即可执 行共通标记 脏污检查 。
第 2 部 功能详解篇 第 11 章 自己诊断功能
11-5
11-3-3 个别诊断功能
个别诊断功能是指，按动作项目进行装置诊断的功能。
个别功能的诊断项目，列举如下。
No.
个别诊断功能组
设定内容
1
共通标记沾污
检查共通标记上有无夹具或部件遮挡标记，确保返
回原点时坐标系不会出现误差。
2
过滤器沾污
对
Head
的真空
ON/OFF
按规定次数执行检查，检
查喷射泵的粘连，诊断是否发生不良。
3
VCS 脏污检查 执行 VCS 脏污检查，判定结果。
4
Head 偏移量
相对于
OCC
的各
Head
安装位置
与激光校准主体的安装角度
5
激光/传感高度 从基板表面看到的激光/传感高度
6
真空校准
实施真空测定。
7
齿槽偏移量（补正）
测量
Z
轴下降的齿槽转矩。（高负荷控制用）
8
高负荷控制偏移量（补正）
测量
Z
轴下降推压的负荷。（高负荷控制用）
9
VCS
偏移量
标准・高分辨率
VCS
的装配位置
/
安装角度
10
ATC 滑动板开闭检查
可确认
ATC
滑板开闭时间，为吸嘴更换不良等提供
诊断材料。
(1) 启动之后
选择桌面画面菜单的「维护」→［自己诊断功能］，显示自己诊断的初始画面。
(2) 退出自己诊断
选择信息区域的「退出」或标题栏右侧的退出按钮，即可退出应用程序。
第 2 部 功能详解篇 第 11 章 自己诊断功能
11-6
11-3-3-1 共通标记弄脏检查
从自己诊断菜单里选择[共通标记沾污]，即可显示共通标记弄脏检查对话框。
在「选择设备」里指定要检查的供料器台架，按下「执行检查」按钮，即可执行共通标记脏污检查。
第 2 部 功能详解篇 第 11 章 自己诊断功能
11-7
检查结果，在「识别结果」上按每个供料器台架显示。
识别结果详细情况如下。
识别结果
概要
OK 识别共通标记成功。
识别错误 识别共通标记出现错误。
脏污错误 共通标记脏污。
共通标记识别出现错误时，会输出如下提示信息。
对检出共通标记识别错误的站台（工作台）进行检查，确认是否共通标记上有异物、或共同标记脏污。