RX-6 使用说明书 用户使用 Rev11.pdf - 第296页
操作手册 I 3-5 1) 请确认没有漏 气。 1 ） 接通主机 的 电源后 ，请选择 「手动控制」项 目，检查下列各 项目的动 作状况。 ① 基板挡块部 ② 夹杆 Y ③ AT C 单元 手动控制 「 操作说明书 第 9 章 手动控制」 此功能用于确认 各项动作、检查传感器的 开 ／关 。 2 ）如果动作 有问题，请参考 「 4-8 管道系 统图 」 进行检查。 检查项目 3-1- 3 管道及接头 实施频度 ：每周 检查内容 检查气压…
操作手册 I
3-4
更换间隔
：每1年更换1次。或压力下降达到约100ｋPa（1kgf／cm
2
）时。
更换方法
1）请关闭指状阀的旋纽。
打开状态 状态关闭
2）按住旋钮部位，向左右任意一侧旋转 45 度，然后拔出。
3）将固定过滤器零件B的树脂零件向左旋转，拆卸过滤器零件B。将过滤器零件A本身向左旋转后拆
下过滤器零件A。
4）安装时，请按照相反的步骤进行操作。
注意
在开始作业前，请关闭指状阀的旋纽。
1) 請確認待機狀態的最大负压表示，達到-88kPa。
2) 最大负压表降低到-88kPa 以下时，需要更换消耗零件。
请按照「4-7-2 真空泵零件的更换」进行消耗零件的检查、更换。
检查･更换
更换过滤器零件
更换标准
：
1
年
检查项目
3-1-2 真空泵压力
实施频度 ：每天
检查内容
确认真空压力
过滤器零件
PX5000630A0
过滤器零件
PX500064000
树脂零件
旋钮部位
-88.805
操作手册 I
3-6
1) 请目检确认 Head 单元正面部位过滤器箱内的「空气过滤器①」没有脏污。
2）请通过「过滤器脏污检查」确认没有问题。
检查过滤器脏污
「使用说明书 11-3-3-2 检查过滤器脏污」
执行结果若有问题，会显示提示，敦促更换。
3) 如果有脏污，请更换新的过滤器。
1)
把过滤器箱的「固定螺丝②」（ 左右 2 处）拧松，取下「过滤器箱 U①」。
2) 检查「过滤器③」有无脏污。
3)
若有脏污，请把「过滤器箱 L④」中的「过滤器③」更换下来。
4)
把「过滤器③」插入「过滤器箱 L④」， 要 插 紧，用「固定螺丝②」固定好。（紧固力矩：0.7 N·m）
此时，请确认「O 环 F2⑤」是否正好套进「过滤器箱 L④」的沟里。
5) 重新取得无吸嘴状态下的真空值。
检查项目
3-1-5 空气过滤器（LNC120 Head）
实施频度 ：每月
检查内容
检查空气过滤器脏污
更换
更换新的空气过滤器
使用工具
：螺丝刀
更换标准：
6
个月
过滤器③ 件号：40046646
①
②
③
④
⑤
①