多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第10页
目录 INS-NXTMWU-4.2S iv 多功能晶圆单元使用说明书 7.3.2 安装步骤 ................................ 154 7.3.3 晶圆图表的指定 .......................... 158 7.3.4 如何显示跳过晶片指定的菜单画面 .......... 161 7.3.5 晶圆托架的运用 .......................... 162 7.4 指定吸取开始…
INS-NXTMWU-4.2S 目录
多功能晶圆单元使用说明书 iii
5.8.2 补充信息 ................................ 125
6. 生产..................................... 129
6.1 生产之前 .............................. 129
6.1.1 安装晶圆托架 ............................ 129
6.1.2 安装吸嘴 ................................ 129
6.1.3 安装顶起销 .............................. 130
6.1.4 确认顶起筒的安装 ........................ 130
6.1.5 确认在晶片往复臂上安装了吸嘴 ............ 131
6.1.6 确认在翻转单元上安装了吸嘴 .............. 131
6.2 开始生产 .............................. 132
6.3 关于生产中的画面 ...................... 133
6.3.1 画面的构成 .............................. 133
6.4 补充晶圆 .............................. 134
6.4.1 元件补充向导画面 ........................ 134
6.4.2 补充步骤 ................................ 135
6.5 指定参考晶片 .......................... 139
6.5.1 参考晶片指定画面 ........................ 139
6.5.2 指定参考晶片 ............................ 139
6.5.3 指定吸取开始点 .......................... 142
6.5.4 关于参考补救 ............................ 143
6.6 补救错误元件 .......................... 144
6.6.1 料尽向导画面 ............................ 144
6.6.2 显示错误元件补救画面 .................... 144
6.6.3 错误元件补救的设定 ...................... 146
6.7 补充料盘元件 .......................... 147
6.7.1 元件补充向导画面 ........................ 147
6.7.2 补充步骤 ................................ 148
7. 换线..................................... 151
7.1 换线所需的项目 ........................ 151
7.2 从菜单画面上选择换线项目 .............. 152
7.2.1 换线菜单画面 ............................ 152
7.3 元件补充 （晶圆的安装）................ 153
7.3.1 晶圆安装向导画面 ........................ 153
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iv 多功能晶圆单元使用说明书
7.3.2 安装步骤 ................................ 154
7.3.3 晶圆图表的指定 .......................... 158
7.3.4 如何显示跳过晶片指定的菜单画面 .......... 161
7.3.5 晶圆托架的运用 .......................... 162
7.4 指定吸取开始点 （晶圆托架）............. 165
7.4.1 如何显示吸取开始点指定画面 .............. 165
7.4.2 指定吸取开始点 .......................... 167
7.5 指定跳过晶片 ........................... 168
7.5.1 如何显示跳过晶片指定画面 ................ 168
7.5.2 指定跳过晶片 ............................ 170
7.5.3 对跳过晶片设定进行初始化 ................ 176
7.6 晶圆示教 ............................... 177
7.6.1 如何显示晶圆示教画面 .................... 177
7.6.2 行列数的设定 ............................ 179
7.6.3 图表影像和实际影像的确认 ................ 180
7.6.4 模板图表的设定 .......................... 187
7.7 卸下托架 ............................... 193
7.7.1 如何显示托架卸下画面 .................... 193
7.7.2 卸下托架 ................................ 194
7.8 补救错误元件 ........................... 196
7.8.1 如何显示错误元件补救画面 ................ 196
7.8.2 错误元件补救的设定 ...................... 198
7.9 顶起销的位置调整 ....................... 199
7.9.1 顶起销位置调整画面 ...................... 199
7.9.2 进行顶起销的位置调整 .................... 199
7.10 安装顶起销 ............................ 200
7.10.1 顶起销安装向导画面 ..................... 200
7.10.2 顶起销的安装步骤 ....................... 200
7.11 元件补充 （料盘元件的安装）............ 207
7.11.1 料盘元件安装向导画面 ................... 207
7.11.2 料盘元件的安装步骤 ..................... 208
7.11.3 指定吸取开始点 ......................... 211
7.12 安装吸嘴 .............................. 212
7.12.1 吸嘴安装向导画面 ....................... 212
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多功能晶圆单元使用说明书 v
7.12.2 吸嘴的安装步骤 ......................... 213
7.13 料站类型更换向导 ..................... 215
8. 手动模式指令............................. 217
8.1 从菜单画面上选择指令项目 .............. 217
8.1.1 指令菜单画面 ............................ 217
8.2 单元更换指令 .......................... 218
8.2.1 如何显示吸嘴更换画面 .................... 218
8.2.2 吸嘴更换 ................................ 219
8.3 退避指令 .............................. 220
8.3.1 如何显示料盘箱退避画面 .................. 220
8.3.2 料盘箱退避 .............................. 221
8.4 信息指令 .............................. 222
8.4.1 如何显示信息画面 ........................ 222
8.5 测试指令 .............................. 223
8.5.1 如何显示菜单画面 ........................ 223
8.5.2 影像获取 ................................ 224
8.5.3 吸取测试 ................................ 228
8.5.4 顶起销位置调整 .......................... 233
8.5.5 切割宽度设定 ............................ 235
9. 多功能晶圆单元的卸下和安装............... 241
9.1 卸下方法 .............................. 242
9.2 安装方法 .............................. 243
9.2.1 安装前的确认 ............................ 243
9.2.2 安装方法 ................................ 244
10. 预防保养................................ 247
10.1 关于预防保养 ......................... 247
10.1.1 关于作业周期 ........................... 247
10.1.2 作业时的注意事项 ....................... 247
10.1.3 准备物品 ............................... 247
10.1.4 关于加油 ............................... 249
10.1.5 基本的加油步骤 ......................... 249
10.2 作业列表 ............................. 250
10.2.1 运转时操作人员进行的作业 ............... 250