多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第247页

INS-NXTMWU-4.2S 8. 手动模式指令多功能晶圆单元使用说明书 233 8.5.4 顶起销位置调整执行该指令后，元件相机就会拍摄顶起销的位置，并显示在操作面板上。由此，能够确认现状的顶起销位置，算出修正量。 1. 请按下顶起销位置调整指令。 2. 显示筒夹选择画面。请通过箭头按钮选择进行位置调整的筒夹。 3. 请按下 START 按钮。 01NST -1395 01NST -1396 01NST -1397

8. 手动模式指令 INS-NXTMWU-4.2S

232 多功能晶圆单元使用说明书

b. 往复臂供应模式时

9. 按下 NEXT 按钮就会返回到 4. 项的吸取数据编辑画面。请对照吸取的状态编辑数据。

至此，完成操作。

另外，启动 MEdit 也能够进行吸取测试。详细内容请参照 "5.6 通过 MEdit 的 Job 编辑 "。

INS-NXTMWU-4.2S 8. 手动模式指令

多功能晶圆单元使用说明书 233

8.5.4 顶起销位置调整

执行该指令后，元件相机就会拍摄顶起销的位置，并显示在操作面板上。由此，能够确认现

状的顶起销位置，算出修正量。

1. 请按下顶起销位置调整指令。

2. 显示筒夹选择画面。请通过箭头按钮选择进行位置调整的筒夹。

3. 请按下 START 按钮。

01NST-1395

01NST-1396

01NST-1397

8. 手动模式指令 INS-NXTMWU-4.2S

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4. 显示顶起销的影像处理结果。请按下上下左右的滚动按钮，将销中心调整到画面中心。

备注 )此时的滚动量为顶起销的位置补正量。

备注 )按下 CANCEL 按钮后，就会返回到前项的画面。

5. 请按下 NEXT 按钮。返回到 2. 项的画面，补正量被确定。

01NST-1398S

CANCEL NEXT