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10. 预防保养 INS-NXTMWU-4.2S 248 多功能晶圆单元使用说明书 其他 吸尘器 - 布 柔软干净的布 棉棒 - 刷子 - 工业用酒精 清扫用 张力计 皮带点检用
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多功能晶圆单元使用说明书 247
10. 预防保养
10.1 关于预防保养
预防保养作业包括点检、清扫和加油等。是防止机器的运转不正常，达到设计性能所不可缺
少的作业。请遵照这里所记载的要领严格执行。
·这里所记载的作业内容基本上是维修保养人员的作业内容，但是，也同时记载了
操作人员必须执行的作业内容。
10.1.1 关于作业周期
存在着机器在运转了 1 天 （24 小时）、1 周 （160 小时）、1 个月 （700 小时）、3 个月
（2,000 小时）、6 个月 （4,000 小时）、1 年 （8,000 小时）以及 12,000 小时左右后的定期
作业，伴随特定的机器操作而进行的作业和故障发生时所进行的作业。（参照 "10.2 作业列
表 "。）另外，手册中记载的维修保养周期是参考周期。根据机器的使用环境和使用情况，
作业周期有可能缩短。
10.1.2 作业时的注意事项
a. 在多功能晶圆单元内部，不容许进行喷射压缩空气的作业。细小的元件或异物有可
能进入机器内部，影响正常运转。
b. 从模组上卸下了多功能晶圆单元后，请按照以下进行安装作业。
·将卸下的多功能晶圆单元重新安装到模组上时，请参照 "9.2 安装方法 "。
·将卸下的多功能晶圆单元安装到其他的模组上时，请参照 "4.4 调整多功能晶圆单
元的高度和倾斜 "。
10.1.3 准备物品
治具 FUJI 润滑油枪套件 AWPJ8201 用于向润滑油嘴加油
工具 六角扳手 1 套 -
一字螺丝刀 -
十字螺丝刀 -
润滑脂 Daphne Eponex No.2 ( 出光 ) -
Mobilith SHC460WT （Mobil） -
NS7 （NSK）或者 Multemp SRL （协同油脂） -
Gluebar A20 （NOK） -
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其他 吸尘器 -
布 柔软干净的布
棉棒 -
刷子 -
工业用酒精 清扫用
张力计 皮带点检用
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10.1.4 关于加油
作为加油的方式，存在着向润滑油注入口加油，用刷子直接涂敷到摩擦部位以及通过喷射容
器的加油等方式。关于这些方式的具体加油步骤，按照各机器部位在下一节集中介绍。这
里，说明各部位共通的基本加油步骤。
备注 )关于加油量，使用 FUJI 润滑油枪套件的润滑油枪进行计量。润滑油枪的 1 次喷射的吐
出量约 0.6 cc。请将喷射数作为加油时的参考。请擦去溢出的多余的润滑油。
10.1.5 基本的加油步骤
向润滑油嘴加油
1. 用干净的布擦去滚珠丝杆和 LM 导轨的污垢。
2. 使用 FUJI 润滑油枪套件的润滑油枪，向滚珠丝杆和 LM 导轨的油嘴加入所需喷射次数的
润滑油。
3. 用干净的布擦去润滑油油嘴部、滚珠丝杆和 LM 导轨处溢出的多余的润滑油。
4. 手动动作单元，使润滑油循环。
5. 再次擦去滚珠丝杆和 LM 导轨处溢出的多余的润滑油。
刷子涂敷 （喷射）方式的加油
1. 用干净的布擦去滚珠丝杆和 LM 导轨的污垢。
2. 使用 FUJI 润滑油枪套件的润滑油枪，向刷子喷射所需次数的润滑油，或者直接向滚珠
丝杆和 LM 导轨加油。用刷子均匀地涂敷润滑油。
3. 喷射方式时，直接向加油处喷射。
4. 用干净的布擦去滚珠丝杆和 LM 导轨处溢出的多余的润滑油。
5. 手动动作单元，使润滑油循环。
6. 再次擦去滚珠丝杆和 LM 导轨处溢出的多余的润滑油。
加油时的注意事项
·擦去加油时的润滑油时，请不要使用脏布。否则，成为部件损坏的原因。擦去润
滑油时，请务必使用干净的布。
·请不要给指定位置以外处加油。否则，成为故障等的原因。指定位置以外处附着
了润滑油时，请用干净的布擦去。
·请不要使用非指定的润滑油。否则，成为故障等的原因。
·加油前，请使用干净的布擦去脏的润滑油。
·加油后，请使用干净的布擦去多余的润滑油。