多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第239页
INS-NXTMWU-4.2S 8. 手动模式指令 多功能晶圆单元使用说明书 225 3. 按下 OK 按钮。 4. 选择对象的晶片。 a. 按 下从 [Product Die] 到 [Re fDie4] 的任意 一个按钮。 b. 必 要时，能够变更挡板 速度。 （ 1 msec 单位 ） 5. 请 选择 START 按钮。 01NST -1391 01NST -1495 01NST -1496
8. 手动模式指令 INS-NXTMWU-4.2S
224 多功能晶圆单元使用说明书
8.5.2 影像获取
执行该指令后，多功能晶圆单元就会显示晶片的影像。通过手动操作，能够进行晶片位置调
整后的影像获取。
1. 请按下影像获取指令。
备注 )如果没有完成自动校正，就会显示错误画面。请将画面返回到生产模式，执行校正。
2. 显示料槽选择画面。通过箭头按钮选择进行吸取测试的被安装了晶圆的料槽。
01NST-1383
01NST-1494
INS-NXTMWU-4.2S 8. 手动模式指令
多功能晶圆单元使用说明书 225
3. 按下 OK 按钮。
4. 选择对象的晶片。
a. 按下从 [Product Die] 到 [RefDie4] 的任意一个按钮。
b. 必要时，能够变更挡板速度。（1 msec 单位）
5. 请选择 START 按钮。
01NST-1391
01NST-1495
01NST-1496
8. 手动模式指令 INS-NXTMWU-4.2S
226 多功能晶圆单元使用说明书
6. 显示晶片的影像。请按下滚动按钮，使十字线 （相机中心）对准晶片的中心。
备注 )[Reference Pos] 只是在参考晶片为对象时显示。
7. 按下 NEXT 按钮。
备注 )按下 [BACK] 按钮后，就会返回到 3 项的画面。另外，按下 [CANCEL] 按钮后，则返回
到 2 项的画面。
8. 显示影像处理的结果。
a. 直接供应模式时
备注 )多功能晶圆单元侧的监视器没有结果的显示。
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Reference Pos
01NST-1498
CANCEL BACK
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