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10. 预防保养 INS-NXTMWU-4.2S 276 多功能晶圆单元使用说明书 〈翻转单元〉 备注 )FUJI 润滑油枪套件的润滑油枪 1 次喷射的吐出量约 0.6cc。请作为加油量的参考。表 中的加油量是 1 根滚珠丝杆的加油量。 1. 请打开背面盖罩右侧面的维修保养门。 备注 )如果是没有背面右侧面维 修保养门的多功能晶圆 单元，请从 模组上卸下多功能晶圆 单 元，拆下背面盖罩。 （详细内容请参照 "9.1 卸下方法 …
INS-NXTMWU-4.2S 10. 预防保养
多功能晶圆单元使用说明书 275
11.将 0.35cc 的 NS7 （NSK）或 Multemp SRL 倒在刷子上。
12.使用刷子，在 EX 轴导轨 (5) 处均匀地涂敷润滑油。
13.手动动作 EX 轴、EY 轴、EZ 轴和顶起驱动，使润滑油循环。
14.用干净的布擦去溢出的多余的润滑油。
15.将多功能晶圆单元安装到模组中。（详细内容参照 "9.2 安装方法 "。）
10. 预防保养 INS-NXTMWU-4.2S
276 多功能晶圆单元使用说明书
〈翻转单元〉
备注 )FUJI 润滑油枪套件的润滑油枪 1 次喷射的吐出量约 0.6cc。请作为加油量的参考。表
中的加油量是 1 根滚珠丝杆的加油量。
1. 请打开背面盖罩右侧面的维修保养门。
备注 )如果是没有背面右侧面维修保养门的多功能晶圆单元，请从模组上卸下多功能晶圆单
元，拆下背面盖罩。（详细内容请参照 "9.1 卸下方法 " 和 "12.1 拆下盖罩 "。
2. 用干净的布擦去翻转部齿轮的污垢。
3. 将 0.35cc 的 Mobilith SHC460WT 倒在刷子上。
4. 使用刷子，在翻转部齿轮处均匀地涂敷润滑油。
5. 用干净的布擦去溢出的多余的润滑油。
6. 将多功能晶圆单元返回到原来的状态。
润滑油 加油处 加油量
(cc)
Mobilith SHC460WT （Mobil） 翻转部齿轮 0.35
01NST-2015
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多功能晶圆单元使用说明书 277
〈塔部〉
备注 )FUJI 润滑油枪套件的润滑油枪 1 次喷射的吐出量约 0.6cc。请作为加油量的参考。表
中的加油量是 1 根滚珠丝杆的加油量。
1. 请打开正面门。
2. 用干净的布擦去 TZ 轴滚珠丝杆的污垢。
3. 将 0.5cc 的 Daphne Eponex No.2 倒在刷子上。
4. 通过料盘箱下面的间隙，用刷子在 TZ 轴滚珠丝杆上均匀地涂敷润滑油。
5. 用干净的布擦去溢出的多余的润滑油。
6. 关闭正面门。
润滑油 加油处 加油量
(cc)
Daphne Eponex No.2 ( 出光 ) TZ 轴滚珠丝杆 0.5
01NST-0707a