多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第332页
12. 更换部件 INS-NXTMWU-4.2S 318 多功能晶圆单元使用说明书 侧面盖罩 （左侧） 1. 请拆下侧面盖罩 （左侧后方） 。 （详细请参照 [ 侧面盖罩 （左侧后方）]。 ） 2. 请拆下操作面板盖罩。 （详细请参照 [ 操作面板盖罩。 ） 3. 请松开操作面板固定螺栓 （2 根） 。 4. 请拆下正面盖罩 （下方） 。 （详细请参照 [ 正面盖罩 （中央、下方）]。 ） 5. 请拆下螺丝，然后拆下侧面盖罩 （左侧下方…
INS-NXTMWU-4.2S 12. 更换部件
多功能晶圆单元使用说明书 317
侧面盖罩 （左侧后方）
1. 请拆下螺丝，然后拆下侧面盖罩 （左侧后方）。
侧面盖罩 （左侧下方）
1. 请拆下正面盖罩 （下方）。（详细请参照 [ 正面盖罩 （上方，下方）]。）
2. 请拆下螺丝，然后拆下侧面盖罩 （左侧下方）。
01NST-0737b
12. 更换部件 INS-NXTMWU-4.2S
318 多功能晶圆单元使用说明书
侧面盖罩 （左侧）
1. 请拆下侧面盖罩 （左侧后方）。（详细请参照 [ 侧面盖罩 （左侧后方）]。）
2. 请拆下操作面板盖罩。（详细请参照 [ 操作面板盖罩。）
3. 请松开操作面板固定螺栓 （2 根）。
4. 请拆下正面盖罩 （下方）。（详细请参照 [ 正面盖罩 （中央、下方）]。）
5. 请拆下螺丝，然后拆下侧面盖罩 （左侧下方）。
6. 请打开正面门，拆下螺丝然后拆下侧面盖罩 （左侧）。
INS-NXTMWU-4.2S 12. 更换部件
多功能晶圆单元使用说明书 319
12.2 更换 CPU 箱
12.2.1 必要的物品
十字螺丝刀、一字螺丝刀、六角扳手一套、
内置电源控制用电阻 （电阻值：1MΩ 以上）的腕带、
交叉以太网电缆、NXT-2 软件 CD-ROM、
安装了辅助软件的电脑、固有值的备份数据
12.2.2 准备作业
1. 请准备在?? 4.5.5 备份固有值??中保存的最新的固有值备份数据。
2. 如果多功能晶圆单元的 PP 吸嘴被安装在了 PP 工作头上，请拆下吸嘴。
12.2.3 更换方法
警告
请务必切断机器的主电源，然后进行更换作业。
注意
插拔连接电缆时，请握住接插件，不要拉扯电缆。
连接接插件时，请确认接插件名称，不要出错。
在带静电的情况下持续作业，有可能损坏 CPU 箱内的电子元件。