多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第7页
INS-NXTMWU-4.2S 目录 多功能晶圆单元使用说明书 i 目录 1. 安全指南 ............. ...................... 1 1.1 标记的读法 .......... ............. ....... 1 1.1.1 危险度的定义 .............................. 1 1.1.2 图标记号示例 .............................. 1…
著作权
本手册的著作权属于富士机械制造株式会社所有。未经本公司同意，严禁擅自复制或转载本手册的部分或
全部内容。
保证和责任
本公司对由于下述原因而产生的结果不承担任何责任：
·使用第三方零部件。
·使用非纯正 Fuji 零部件。
·用户的不正确设置。
·Fuji 设备使用不当。
注意事项
·本手册的内容在没有事先预告的情况下，有进行变更的可能性。
·本公司对因使用本手册所产生的结果及所造成的影响，不承担任何责任。
·本手册在编写过程中力求精益求精，如若发现错误或遗漏之处敬请与本公司联系。
INS-NXTMWU-4.2S 目录
多功能晶圆单元使用说明书 i
目录
1. 安全指南................................... 1
1.1 标记的读法 .............................. 1
1.1.1 危险度的定义 .............................. 1
1.1.2 图标记号示例 .............................. 1
1.2 多功能晶圆单元的注意事项 ................ 2
1.3 安全标识 ................................ 3
1.3.1 安全标识的含义 ............................ 3
1.4 紧急停止按钮 ............................ 4
2. 各部分的名称和功能......................... 5
2.1 MWU8i ................................... 5
2.1.1 PP 吸嘴种类................................ 6
2.1.2 顶起筒 .................................... 7
2.1.3 晶圆托架 .................................. 7
2.2 吸嘴置放台 .............................. 8
3. 传感器配置图............................... 9
3.1 I/O 的确认方法........................... 9
3.2 安全门和空气压、真空压 ................. 10
3.3 料盘塔 ................................. 12
3.4 PP 单元................................. 17
3.5 PP 吸嘴更换器........................... 18
3.6 往复臂和翻转单元 ....................... 19
3.7 顶起单元 ............................... 21
3.8 元件排出搬运轨道 ....................... 22
4. 安装...................................... 25
4.1 拆下固定支架 ........................... 25
4.2 安装主电源开关 ON/OFF 单元 .............. 27
4.3 变更到对应多功能晶圆的模组 ............. 29
4.3.1 准备物品 ................................. 29
4.3.2 作业步骤 ................................. 30
4.4 调整多功能晶圆单元的高度和倾斜 ......... 34
目录 INS-NXTMWU-4.2S
ii 多功能晶圆单元使用说明书
4.4.1 准备物品 ................................. 34
4.4.2 NXT-2 的 XY 机械手使用时的注意事项 ........ 36
4.4.3 调整方法 ................................. 37
4.5 吸取高度修正测定 ........................ 56
4.5.1 准备物品 ................................. 56
4.5.2 NXT-2 的 XY 机械手使用时的注意事项 ........ 57
4.5.3 测定前的确认事项 ......................... 57
4.5.4 测定方法 ................................. 58
4.5.5 备份固有值 ............................... 69
5. Job 的设定和编辑 .......................... 71
5.1 元件数据 ................................ 71
5.1.1 设定方法 ................................. 71
5.1.2 补充信息 ................................. 72
5.2 封装数据 ................................ 74
5.2.1 设定方法 ................................. 74
5.3 外形数据 ................................ 75
5.3.1 设定方法 ................................. 75
5.3.2 补充信息 ................................. 80
5.4 定位点数据 .............................. 89
5.4.1 设定方法 ................................. 89
5.5 机器构成数据 ............................ 91
5.6 通过 MEdit 的 Job 编辑 .................... 94
5.6.1 影像处理测试 ............................. 94
5.6.2 吸取测试 ................................. 99
5.6.3 切割宽度设定 ............................ 105
5.7 通过 Collet Spec Editor 的设定 .......... 112
5.7.1 关于筒夹销配置对话框 .................... 112
5.7.2 顶起销配置设定 .......................... 114
5.7.3 复制筒夹数据 ............................ 115
5.7.4 导入筒夹数据 ............................ 116
5.7.5 删除筒夹数据 ............................ 116
5.8 运用邻近参考晶片参照功能 ............... 118
5.8.1 设定方法 ................................ 119