多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第83页
INS-NXTMWU-4.2S 4. 安装 多功能晶圆单元使用说明书 69 4.5.5 备份固有值 进行了吸取高度 修正测定后，吸取 高度修正值和 [InspectionTool.ini] 文件就会被变更。 请备份包含了吸 取高度修正值的固 有值和 [Inspec tionTool.ini] 文 件。 备注 )[InspectionTool.ini] 的备份数据在下次的吸取修正测定时使用。固有值在更换 CPU 箱电池和 CPU 箱时使用…
4. 安装 INS-NXTMWU-4.2S
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13.确认紧急停止按钮被按下了。使用 2mm 宽度的六角扳手转动 EZ 轴滚珠丝杆，将顶起 Z
轴部下降到下降端。
14.从模组上拆下千分表、磁性平台和工作头夹紧治具。
15.从多功能晶圆单元上拆下顶起调整治具。
16.暂时将基座的主电源开关设置为 OFF，然后重新设置为 ON。此次设定的数值变成有效。
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INS-NXTMWU-4.2S 4. 安装
多功能晶圆单元使用说明书 69
4.5.5 备份固有值
进行了吸取高度修正测定后，吸取高度修正值和 [InspectionTool.ini] 文件就会被变更。
请备份包含了吸取高度修正值的固有值和 [InspectionTool.ini] 文件。
备注 )[InspectionTool.ini] 的备份数据在下次的吸取修正测定时使用。固有值在更换 CPU
箱电池和 CPU 箱时使用。
1. 取得 [InspectionTool.ini] 文件的备份。请复制 [MWU Adjustment Tool] 的文件夹内的
[InspectionTool.ini] 文件，粘贴到备份数据的保存场所。
2. 取得固有值的备份。请打开 [MWU.exe]。显示 MENU 画面。
3. 在 [Connect IP Address] 中输入要安装多功能晶圆单元的基座的 IP 地址，确认
[M1(P)] 中选择了复选框。
4. 点击 [Connection check] 指令，确认显示了 [OK]。
5. 点击 [ETC] 指令。显示 ETC 画面。
6. 点击固有值 Backup 的 [Start] 指令。
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4. 安装 INS-NXTMWU-4.2S
70 多功能晶圆单元使用说明书
7. 指定固有值文件名和保存位置，点击 [Save]。固有值被保存。文件名必须以
"MWU_SRAM_CALIB_MWU8i_TW08A000***" 进行保存。另外，[***] 请输入进行固有值备份
的多功能晶圆单元的序列号。
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