多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第20页
2. 各部分的名称和功能 INS-NXTMWU-4.2S 6 多功能晶圆单元使用说明书 2.1.1 PP 吸嘴种类 PP 吸嘴的种类如下。请对照所 使用晶圆的晶片尺 寸进行选择。另外，各个吸嘴请通过 凸缘 面上被涂敷的颜色进行识别。 备注 )吸嘴尺寸末尾的 [G] 表示带橡胶垫的吸嘴。 吸嘴尺寸 识别色 ID 吸嘴图号 φ1.0G 粉色 C10 AA9DW** φ1.3G 绿 C11 AA9DX** φ1.8G 浅蓝 C12 AA9DY…
INS-NXTMWU-4.2S 2. 各部分的名称和功能
多功能晶圆单元使用说明书 5
2. 各部分的名称和功能
2.1 MWU8i
是一种供应多个晶圆的装置。也能够进行料盘元件和料带元件的供应。需要搭载到 M6-2SP
模组中才能使用。
·PP 单元：是进行晶圆的晶片位置识别和传送给晶片往复臂的单元。
·PP 吸嘴更换器：是安装 PP 吸嘴置放台的单元。PP 吸嘴置放台可以从 PP 吸嘴更换
器上卸下。
·托架往复臂：是将托架搬运到模组侧的吸取位置的单元。
·晶片往复臂：是将晶片搬运到模组侧的吸取位置的单元。
·顶起单元：是晶片吸取时顶起晶片的单元。
·翻转单元：是翻转吸取晶片的方向的单元。
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2. 各部分的名称和功能 INS-NXTMWU-4.2S
6 多功能晶圆单元使用说明书
2.1.1 PP 吸嘴种类
PP 吸嘴的种类如下。请对照所使用晶圆的晶片尺寸进行选择。另外，各个吸嘴请通过凸缘
面上被涂敷的颜色进行识别。
备注 )吸嘴尺寸末尾的 [G] 表示带橡胶垫的吸嘴。
吸嘴尺寸 识别色 ID 吸嘴图号
φ1.0G 粉色 C10 AA9DW**
φ1.3G 绿 C11 AA9DX**
φ1.8G 浅蓝 C12 AA9DY**
φ2.5G 紫 C13 AA9DZ**
φ3.5G 黄绿 C14 AA9EA**
φ5.0G 红 C15 AA9EB**
φ7.0G 深红 C16 AA9EC**
φ10.0G 深蓝 C17 AA9ED**
φ0.4 黄 C18 AB306**
φ0.7 蓝 C19 AB307**
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多功能晶圆单元使用说明书 7
2.1.2 顶起筒
顶起筒被安装在顶起单元中，存在小尺寸晶片用和正方形晶片用 2 种类型。请对照所使用晶
圆的晶片尺寸进行选择。小尺寸晶片用时可以在中心安装 1 个顶起销，大尺寸或中尺寸晶片
用时在中心和周围安装多个顶起销。
2.1.3 晶圆托架
多功能晶圆单元是将晶圆安装在托架上进行供应。根据晶圆是否带夹环，所使用的托架不相
同。请使用符合晶圆条件的托架。
·夹环对应托架
·手动拉伸托架 （选购件）
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