多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第161页
INS-NXTMWU-4.2S 6. 生产 多功能晶圆单元使用说明书 147 6.7 补充料盘元件 运转中当发生料尽时， 在多功能晶圆单元的画面上就会显示元件 补充向导。 请根据向导对多 功能晶圆单元补充元件。 6.7.1 元件补充向导画面 01NST -0675S 1 2 3 4 5
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146 多功能晶圆单元使用说明书
6.6.3 错误元件补救的设定
1. 请按下错误元件补救设定按钮，进行补救设定。
2. 设定后，按下 NEXT 按钮。
备注 )补救设定后，不按下 NEXT 按钮而是取消自动运转，设定变成无效。然后返回到自动运
转的时候，因为再次显示设定画面，请重新设定。
3. 显示吸取开始点的指定画面。在指定了开始点后请重新开始生产。
备注 )关于吸取开始点的指定，请参照 "6.5.3 指定吸取开始点 "。
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多功能晶圆单元使用说明书 147
6.7 补充料盘元件
运转中当发生料尽时，在多功能晶圆单元的画面上就会显示元件补充向导。请根据向导对多
功能晶圆单元补充元件。
6.7.1 元件补充向导画面
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6.7.2 补充步骤
1. 请打开多功能晶圆单元的正面门。
2. 请确认要补充的料槽。需要补充的料槽的 LED 会亮灯。另外，对于向导画面中所选择的
料槽，LED 会闪烁。
3. 请拿住捏手，提起托架挡块。
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