多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第45页
INS-NXTMWU-4.2S 4. 安装 多功能晶圆单元使用说明书 31 4. 安装多功能晶圆单元用的废料带输送槽 。 5. 拆下元件排出箱。 6. 将元件相机的安装位置变更到模组 内右侧。 （安装 / 卸下作业的详细步骤请按照 [NXT I I机 械 手 册]的[部 品 的 更 换] 。 ） 7. 使用六角扳手拆下双头螺栓 （4 个） 。拔下接插件，拆下吸嘴更换器。 8. 将吸嘴更换器安装在多功能晶圆单元用的 位置。旋紧双头螺栓 （…
4. 安装 INS-NXTMWU-4.2S
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4.3.2 作业步骤
1. 请将基座的主电源开关设置到 OFF。
2. 请拆下供料器安装部的盖罩。
3. 拆下安装螺丝，拆下现有的废料带输送槽。
多功能晶圆单元用
废料带箱
名称 形状
INS-NXTMWU-4.2S 4. 安装
多功能晶圆单元使用说明书 31
4. 安装多功能晶圆单元用的废料带输送槽。
5. 拆下元件排出箱。
6. 将元件相机的安装位置变更到模组内右侧。（安装 / 卸下作业的详细步骤请按照 [NXT
II机械手册]的[部品的更换]。）
7. 使用六角扳手拆下双头螺栓 （4 个）。拔下接插件，拆下吸嘴更换器。
8. 将吸嘴更换器安装在多功能晶圆单元用的位置。旋紧双头螺栓 （4 个）。接插件穿过吸
嘴更换器旁边的孔进行连接。
4. 安装 INS-NXTMWU-4.2S
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9. 将对应多功能晶圆单元的吸嘴置放台安装在吸嘴更换器本体上。（关于安装方法的详细
内容请参照 [NXT II 机械手册 ]。）
10.拆下废料带箱下面的盖罩。
11.松开螺栓，拆下模组前侧下方的盖罩。
12.进行多功能晶圆单元的高度和倾斜的调整时，请在以下的作业之前进行。详细内容请参
照 "4.4 调整多功能晶圆单元的高度和倾斜 "。