多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第183页

INS-NXTMWU-4.2S 7. 换线 多功能晶圆单元使用说明书 169 备注 )在按下 OK 按钮之前，按下箭头按钮 （上下）能够选择料槽。 4. 显示跳过晶片指定的菜单画面。请按下菜 单选择设定方法。 a. 外圈指定：输入从外圈开始的列数，指定 跳过晶片的区域。 b. 范围指定：从影像图表或影像中选择范围 ，指定跳过晶片。 c. 个别指定：从影像图表或影像中选择晶片 ，指定跳过晶片。 Complete CANCEL

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168 多功能晶圆单元使用说明书
7.5 指定跳过晶片
在多功能晶圆单元中安装了晶圆托架后，请指定跳过晶片。
7.5.1 如何显示跳过晶片指定画面
执行晶圆托架的安装向导内所显示的跳过晶片指定的指令，或者通过以下的操作显示跳过
晶片指定画面。
1. 在操作面板处在开始等待的状态的时候，请按下 OK 按钮。
2. 显示换线指令菜单。请选择跳过晶片指定指令。
3. 请按下 OK 按钮。
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INS-NXTMWU-4.2S 7. 换线
多功能晶圆单元使用说明书 169
备注 )在按下 OK 按钮之前，按下箭头按钮 （上下）能够选择料槽。
4. 显示跳过晶片指定的菜单画面。请按下菜单选择设定方法。
a. 外圈指定：输入从外圈开始的列数，指定跳过晶片的区域。
b. 范围指定：从影像图表或影像中选择范围，指定跳过晶片。
c. 个别指定：从影像图表或影像中选择晶片，指定跳过晶片。
CompleteCANCEL
7. 换线 INS-NXTMWU-4.2S
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7.5.2 指定跳过晶片
请选择外圈指定、范围指定或者个别指定的任意一个菜单，进入指定画面。
根据外圈指定的跳过晶片的设定
1. 按下画面左下方的按钮就会显示数字键盘。在数字键盘上输入从晶圆外圈开始的列数。
2. 输入列数后，按下数字键盘的 Enter 键，所输入的数值就会被决定。
3. 请按下 Complete 按钮。画面返回到跳过晶片指定的菜单。
备注 )按下 CANCEL 按钮，就会取消所指定的数值，并且画面返回到跳过晶片设定的菜单。
4. 请按下 Complete 按钮。设定内容被反映给机器。
CANCEL
Complete