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10. 预防保养 INS-NXTMWU-4.2S 264 多功能晶圆单元使用说明书 4. 使用尖头镊子等，将过滤器盒内的真空过 滤器更换成新品。 5. 将吸嘴安装翻转单元上。将吸嘴插入翻转 单元，按住吸嘴顺时针转动。 6. 将多功能晶圆单元返回到原来的状态。
10. 预防保养 INS-NXTMWU-4.2S
264 多功能晶圆单元使用说明书
4. 使用尖头镊子等，将过滤器盒内的真空过滤器更换成新品。
5. 将吸嘴安装翻转单元上。将吸嘴插入翻转单元，按住吸嘴顺时针转动。
6. 将多功能晶圆单元返回到原来的状态。
INS-NXTMWU-4.2S 10. 预防保养
多功能晶圆单元使用说明书 265
10.7 每 3 个月 （2000 小时）的作业
10.7.1 PP 单元的吸嘴夹紧销的更换
1. 从模组中卸下多功能晶圆单元。（详细内容参照 "9.1 卸下方法 "。）
2. 拆下多功能晶圆单元的背面盖罩。（详细内容参照 "12.1 拆下盖罩 "。）
3. 手动下降 PP 单元的凸缘。
4. 使用扁嘴钳等夹住凸缘上的吸嘴夹紧销的固定爪侧，解除勾住部分，向下压入。
5. 从下面拔出吸嘴夹紧销。
6. 安装新的夹紧销。利用 φ1 ～ 2 mm 左右棒等将其完全插入到安装部。
注意 )请注意不要损伤吸嘴夹紧侧的爪。
7. 安装多功能晶圆单元的背面盖罩。
8. 将多功能晶圆单元安装到模组中。（详细内容参照 "9.2 安装方法 "。）