多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第18页
1. 安全指南 INS-NXTMWU-4.2S 4 多功能晶圆单元使用说明书 1.4 紧急停止按钮 发生紧急情况时， 请按下红色的紧急停止按钮停止机器运转。 紧急停止按钮的位置请参考下 图。 1676F ㋻ᗹذℶ ᣝ䪂
INS-NXTMWU-4.2S 1. 安全指南
多功能晶圆单元使用说明书 3
1.3 安全标识
表示使用机器时的注意事项的安全标识贴在机器的下图所示位置。
1.3.1 安全标识的含义
167F
标识 含义
注意、警告 : 注意触电
请关闭电源然后进行维修保养。
1. 安全指南 INS-NXTMWU-4.2S
4 多功能晶圆单元使用说明书
1.4 紧急停止按钮
发生紧急情况时，请按下红色的紧急停止按钮停止机器运转。紧急停止按钮的位置请参考下
图。
1676F
㋻ᗹذℶ
ᣝ䪂
INS-NXTMWU-4.2S 2. 各部分的名称和功能
多功能晶圆单元使用说明书 5
2. 各部分的名称和功能
2.1 MWU8i
是一种供应多个晶圆的装置。也能够进行料盘元件和料带元件的供应。需要搭载到 M6-2SP
模组中才能使用。
·PP 单元：是进行晶圆的晶片位置识别和传送给晶片往复臂的单元。
·PP 吸嘴更换器：是安装 PP 吸嘴置放台的单元。PP 吸嘴置放台可以从 PP 吸嘴更换
器上卸下。
·托架往复臂：是将托架搬运到模组侧的吸取位置的单元。
·晶片往复臂：是将晶片搬运到模组侧的吸取位置的单元。
·顶起单元：是晶片吸取时顶起晶片的单元。
·翻转单元：是翻转吸取晶片的方向的单元。
ℷ䴶䮼
ᠬᶊᕔ㞖
᪡䴶ᵓ
㋻ᗹذℶᣝ䪂
1676G
⠛ᕔ㞖
᮴ذℶկᑨ䮼
33ऩܗ
Ⳍᴎऩܗ
乊䍋ऩܗ
ܗӊᥦߎऩܗ
33ఈ
ᤶ఼
㗏䕀ऩܗ
ⳳぎ⋉
կ఼᭭᭭キৄ
催ᑺ䇗ᭈᶘ
䰆䴭⬉㺙㕂
᭭Ⲭㆅ