多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第19页
INS-NXTMWU-4.2S 2. 各部分的名称和功能 多功能晶圆单元使用说明书 5 2. 各部分的名称和功能 2.1 MWU8i 是一种供应多个 晶圆的装置。也能够进行 料盘元件和料带元件 的供应。需要搭载到 M6-2SP 模组中才能使用。 ·PP 单元：是进行晶圆的晶片位置 识别和传送给晶片往复臂的单元。 ·PP 吸嘴更换器 ： 是安装 PP 吸嘴置放台的单元。 PP 吸嘴置放台可以从 PP 吸嘴更换 器上卸下。 ·托架往复臂：是…
1. 安全指南 INS-NXTMWU-4.2S
4 多功能晶圆单元使用说明书
1.4 紧急停止按钮
发生紧急情况时，请按下红色的紧急停止按钮停止机器运转。紧急停止按钮的位置请参考下
图。
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INS-NXTMWU-4.2S 2. 各部分的名称和功能
多功能晶圆单元使用说明书 5
2. 各部分的名称和功能
2.1 MWU8i
是一种供应多个晶圆的装置。也能够进行料盘元件和料带元件的供应。需要搭载到 M6-2SP
模组中才能使用。
·PP 单元：是进行晶圆的晶片位置识别和传送给晶片往复臂的单元。
·PP 吸嘴更换器：是安装 PP 吸嘴置放台的单元。PP 吸嘴置放台可以从 PP 吸嘴更换
器上卸下。
·托架往复臂：是将托架搬运到模组侧的吸取位置的单元。
·晶片往复臂：是将晶片搬运到模组侧的吸取位置的单元。
·顶起单元：是晶片吸取时顶起晶片的单元。
·翻转单元：是翻转吸取晶片的方向的单元。
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2. 各部分的名称和功能 INS-NXTMWU-4.2S
6 多功能晶圆单元使用说明书
2.1.1 PP 吸嘴种类
PP 吸嘴的种类如下。请对照所使用晶圆的晶片尺寸进行选择。另外，各个吸嘴请通过凸缘
面上被涂敷的颜色进行识别。
备注 )吸嘴尺寸末尾的 [G] 表示带橡胶垫的吸嘴。
吸嘴尺寸 识别色 ID 吸嘴图号
φ1.0G 粉色 C10 AA9DW**
φ1.3G 绿 C11 AA9DX**
φ1.8G 浅蓝 C12 AA9DY**
φ2.5G 紫 C13 AA9DZ**
φ3.5G 黄绿 C14 AA9EA**
φ5.0G 红 C15 AA9EB**
φ7.0G 深红 C16 AA9EC**
φ10.0G 深蓝 C17 AA9ED**
φ0.4 黄 C18 AB306**
φ0.7 蓝 C19 AB307**