多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第283页
INS-NXTMWU-4.2S 10. 预防保养 多功能晶圆单元使用说明书 269 10.9.2 更换防静电装置 1. 请将主电源开关设置为 OFF。 2. 拆下螺丝，拆下左侧面的维修保养盖罩 。 3. 将六角扳手插入放电针单元的底面，转动 放电针单元将其拆下。 4. 将六角扳手插入放电针单元的底面，与拆 下放电针单元时相反方向转动扳手 ，安装放电 针单元。 备注 )以 0.3Nm 以下的旋紧力矩安装放电针单元。 5. 安装左侧面的维修…
INS-NXTMWU-4.2S 10. 预防保养
多功能晶圆单元使用说明书 269
10.9.2 更换防静电装置
1. 请将主电源开关设置为 OFF。
2. 拆下螺丝，拆下左侧面的维修保养盖罩。
3. 将六角扳手插入放电针单元的底面，转动放电针单元将其拆下。
4. 将六角扳手插入放电针单元的底面，与拆下放电针单元时相反方向转动扳手，安装放电
针单元。
备注 )以 0.3Nm 以下的旋紧力矩安装放电针单元。
5. 安装左侧面的维修保养盖罩。
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10. 预防保养 INS-NXTMWU-4.2S
270 多功能晶圆单元使用说明书
10.10 每 12000 小时的作业
10.10.1 驱动部的加油
〈PP 单元〉
备注 )FUJI 润滑油枪套件的润滑油枪 1 次喷射的吐出量约 0.6cc。请作为加油量的参考。表
中的加油量是 1 根滚珠丝杆的加油量。
1. 从模组中卸下多功能晶圆单元。（详细内容参照 "9.1 卸下方法 "。）
2. 拆下多功能晶圆单元的背面盖罩。（详细内容参照 "12.1 拆下盖罩 "。）
3. 松开安装螺丝，拆下 PX 轴滚珠丝杆的盖罩。
4. 用干净的布擦去 PX 轴滚珠丝杆 (1) 和导轨 (2) 的污垢。
5. 使用润滑油枪，向 PX 轴滚珠丝杆的润滑油嘴喷射 0.35cc 的 Daphne Eponex No.2 。
6. 将 0.35cc 的 NS7 （NSK）或 Multemp SRL 倒在刷子上。
7. 使用刷子，在 PX 轴导轨 (2) 处均匀地涂敷润滑油。
8. 手动动作 PX 轴，使润滑油循环。
9. 用干净的布擦去溢出的多余的润滑油。
润滑油 加油处 加油量 (cc)
Daphne Eponex No.2 ( 出光 ) (1)PX 轴滚珠丝杆 0.35
NS7 （NSK）或 Multemp SRL （协同油
脂）
(2)PX 轴导轨 0.35
(3)PZ 轴滚珠丝杆 0.35