多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第63页
INS-NXTMWU-4.2S 4. 安装 多功能晶圆单元使用说明书 49 d. 一边通过千分表确认顶起调整治具的高度 ，一边使用前侧脚轮和中间脚轮的调 整螺 栓、高度调整手柄，调整到往复臂 供应位置的左右测定值在公差值以内 。 备注 )一边确认一边调整，保证塔基座部的水平仪的数值在公差值 （±0.1mm/m）以内。 ·调整 X 方向的倾斜时，使用前侧脚轮 （2 处）和中间脚轮 （2 处）的调整螺栓， 调整倾斜。 备注 )X 方向调整时…
4. 安装 INS-NXTMWU-4.2S
48 多功能晶圆单元使用说明书
2. 取得托架往复臂部的水平。调整到往复臂供应位置的右侧和左侧、直接供应位置的右侧
和左侧的晶圆供应部 4 点的高度测定值在以下的公差值内。
注意 )用手移动 XY 轴时，请握住框架部。Y 方向移动顶起单元时，首先将顶起 X 轴部移动到
中央，然后 Y 方向移动顶起单元。另外，移动顶起单元时，请不要接触顶起 Z 轴部。
·直接供应位置的左右测定值之差必须在 0.3mm 以内。
·相对于直接供应位置的左右测定值的中间值，往复臂供应位置的左右测定值必须
在 ±0.05mm 以内。
a. 在晶圆供应部 4 点，测定顶起调整治具的高度。将顶起 X 轴部和千分表移动到各自
的位置上，记录测定值。
b. 算出直接供应位置的左右测定值之差和中间值。
备注 )此时，直接供应位置的左右测定值之差超出 0.4mm 时，请将多功能晶圆单元拉出一半，
再次进行夹紧。详细内容请参照步骤 5。0.4mm 以下时，请继续调整至步骤 e。还是没
有在公差值以内时，请将多功能晶圆单元拉出一半，再次进行夹紧。
c. 将顶起单元和千分表移动到往复臂供应位置。
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INS-NXTMWU-4.2S 4. 安装
多功能晶圆单元使用说明书 49
d. 一边通过千分表确认顶起调整治具的高度，一边使用前侧脚轮和中间脚轮的调整螺
栓、高度调整手柄，调整到往复臂供应位置的左右测定值在公差值以内。
备注 )一边确认一边调整，保证塔基座部的水平仪的数值在公差值 （±0.1mm/m）以内。
·调整 X 方向的倾斜时，使用前侧脚轮 （2 处）和中间脚轮 （2 处）的调整螺栓，
调整倾斜。
备注 )X 方向调整时，左或右的前侧脚轮和中间脚轮的变更量基本上相同，这样容易得到水
平。
·如果往复臂供应位置全部接近直接供应位置的中间值，只要按照相同量变更 4 个
脚轮的高度，或者转动高度调整手柄。
备注 )高度调整手柄在大幅度变更 Y 方向的倾斜时使用，脚轮在微调整时使用。
e. 再次进行直接供应位置处的测定。并且算出左右测定值之差和中间值，确认 4 点的
测定值在公差值以内。反复这些调整，测定值在公差值以内。
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X
Y
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X
Y
4. 安装 INS-NXTMWU-4.2S
50 多功能晶圆单元使用说明书
3. 使用 36mm 宽度扳手，预紧固前侧脚轮的固定螺母。使用调整用扳手 （S3019F）固定至
调整螺栓不会转动为止，同时使用固定用扳手 （2MDLWJ0129**）紧固固定螺母。
4. 预紧固中间脚轮的固定螺栓。
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