多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第236页
8. 手动模式指令 INS-NXTMWU-4.2S 222 多功能晶圆单元使用说明书 8.4 信息指令 执行该指令后，就会显示多功能 晶圆单元的信息。 8.4.1 如何显示信息画面 1. 在 START 等待状态下按下 MANUAL 按钮，显示手 动指令。 2. 请按下信息图标。 3. 显示多功能晶圆单元的信息。 备注 )选择 CANCEL 图标后，就会返回到菜单画面。 所显示的信息 MWU 的类型 MWU 的序列号 MWU 的软件版本…
INS-NXTMWU-4.2S 8. 手动模式指令
多功能晶圆单元使用说明书 221
8.3.2 料盘箱退避
执行该指令后，料盘箱就会移动到退避位置。
1. 请按下料盘箱退避指令。
2. 显示料盘箱退避 START 等待画面。请按下 START 按钮。
3. 料盘箱移动到退避位置。完成移动后，就会返回到料盘箱退避指令画面。
01NST-1377
01NST-1378
8. 手动模式指令 INS-NXTMWU-4.2S
222 多功能晶圆单元使用说明书
8.4 信息指令
执行该指令后，就会显示多功能晶圆单元的信息。
8.4.1 如何显示信息画面
1. 在 START 等待状态下按下 MANUAL 按钮，显示手动指令。
2. 请按下信息图标。
3. 显示多功能晶圆单元的信息。
备注 )选择 CANCEL 图标后，就会返回到菜单画面。
所显示的信息
MWU 的类型
MWU 的序列号
MWU 的软件版本
MWU的IP地址
01NST-1379
01NST-1380
INS-NXTMWU-4.2S 8. 手动模式指令
多功能晶圆单元使用说明书 223
8.5 测试指令
在进行晶片元件的影像获取、吸取测试、顶起销的位置调整和切割宽度设定时使用的指令。
执行该指令后，就会显示测试指令菜单画面。
8.5.1 如何显示菜单画面
1. 在 START 等待状态下按下 MANUAL 按钮，显示手动指令。
2. 请按下测试指令图标。
3. 显示测试指令菜单。请按下要执行的指令。
备注 )选择 CANCEL 图标后，就会返回到菜单画面。
01NST-1381
01NST-1382S
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