多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第165页

INS-NXTMWU-4.2S 7. 换线 多功能晶圆单元使用说明书 151 7. 换线 7.1 换线所需的项目 机器自我判断生产准备是否齐备 。 启动机器后， 当按下 START 按钮时就会 开始校正， 根据需 要显示换线向导画面。 请根据向导进行换线作业。 如果需要多个作业时， 当完成 1 个作业后， 画面就会切换到其他 的更换向导。 备注 )关于根据参考晶片指定向导的操作，请参照 "6.5 指定参考晶片 "。 …

100%1 / 337
6. 生产
I
NS-NXTMWU-4.2S
150 多功能晶圆单元使用说明书
11.请拿住捏手，放下托架挡块。
12.请关闭正面门。
备注 )请轻轻地关闭正面门，以免多功能晶圆单元受到冲击。
13.请按下 SUPPLY COPLT 按钮。
至此，完成料盘元件的补充。
01INST-0680S
01NST-0681
INS-NXTMWU-4.2S 7. 换线
多功能晶圆单元使用说明书 151
7. 换线
7.1 换线所需的项目
机器自我判断生产准备是否齐备。启动机器后，当按下 START 按钮时就会开始校正，根据需
要显示换线向导画面。
请根据向导进行换线作业。如果需要多个作业时，当完成 1 个作业后，画面就会切换到其他
的更换向导。
备注 )关于根据参考晶片指定向导的操作，请参照 "6.5 指定参考晶片 "。
01NST-0684S
7. 换线 INS-NXTMWU-4.2S
152 多功能晶圆单元使用说明书
7.2 从菜单画面上选择换线项目
操作者也能够选择换线的项目来显示向导画面。
这时，请在 START 等待画面上按下 OK 按钮，切换到换线菜单画面。选择 CANCEL 图标时，则
返回到 START 等待画面。
7.2.1 换线菜单画面
备注 )背景为深灰色表示不能够选择的菜单。
执行换线的时候，请按下菜单图标。切换到各个换线画面。
167
OK
CANCEL
1676
ᠬᶊপߎ
CANCEL
ᣛᅮ䏇䖛᱊⠛
ᣛᅮ਌পᓔྟ⚍
ܗӊ㸹ܙ
᱊೚⼎ᬭ
䫭䇃ܗӊ㸹ᬥ