多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第310页
11. 更换损耗品 INS-NXTMWU-4.2S 296 多功能晶圆单元使用说明书 EZ 轴、SY 轴伺服放大器时 1. 将多功能晶圆单元安装到模组上，接通多 功能晶圆单元的电源。 2. 拆 下螺丝，拆下侧面盖 罩 （左侧下部 ） 。详 细内容请参照 "12. 1 拆下盖罩 "。 3. 伺服放大器的前面有电池盒。请参考电缆 的线号，打开发出警报的伺服放大 器的电池 盒，更换成新电池。 4. 安装侧面盖罩 （左侧下部…
INS-NXTMWU-4.2S 11. 更换损耗品
多功能晶圆单元使用说明书 295
8. 伺服放大器的前面有电池盒。请参考电缆的线号，打开发出警报的伺服放大器的电池
盒，更换成新电池。
9. 将板、真空泵、电源插头和空气管返回到原来的状态。
10.将真空泵的电源开关设置为 ON。错误被解除。
11.安装正面盖罩 （下部）。
轴线号 轴线号
TZ RH4539* PZ RH4766*
TY RH6991* EX RH4798*
PX RH5949*
01NST-2018S
EX
䕈
PZ
䕈
PX
䕈
TY
䕈
TZ
䕈
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多功能晶圆单元使用说明书 297
11.3 更换 CPU 箱电池
多功能晶圆单元即使电源关闭，通过 CPU 箱内置的电池，也能够保持固有值信息。但是，在
电池耗尽的状态下将电源设置为 OFF，这些信息就会消失。
为了保持信息，请务必在进行了准备作业后更换电池。
11.3.1 电池的种类
*1：保证期限是从电池的制造日开始计算。
*2：电池寿命根据使用环境有可能降低。
11.3.2 更换周期
电池警报时
11.3.3 必要的物品
十字螺丝刀、一字螺丝刀、六角扳手一套、更换用电池
内置电源控制用电阻 （电阻值：1MΩ 以上）的腕带、
安装了辅助软件的电脑、固有值的备份数据
11.3.4 准备作业
电池警报时，不能从机器上取得固有值信息。建议平时取得固有值信息的内容备份，并进行
管理。
1. 请准备在 "4.5.5 备份固有值 " 中保存的最新的固有值备份数据。
2. 如果多功能晶圆单元的 PP 吸嘴被安装在了 PP 工作头上，请拆下吸嘴。
注意
请不要使用指定外的电池。
用完的电池请遵照本地区的规定进行处置。
图号 H1019M
品名 电池
型号 CR2450
保证期限 *1 7 年 （周围温度 40 ℃、无运转）*2