多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第8页
目录 INS-NXTMWU-4.2S ii 多功能晶圆单元使用说明书 4.4.1 准备物品 ................................. 34 4.4.2 NXT-2 的 XY 机械手使用时的注意事项 ........ 36 4.4.3 调整方法 ................................. 37 4.5 吸取高度修正测定 ...... .................. 56 4.5.1 …
INS-NXTMWU-4.2S 目录
多功能晶圆单元使用说明书 i
目录
1. 安全指南................................... 1
1.1 标记的读法 .............................. 1
1.1.1 危险度的定义 .............................. 1
1.1.2 图标记号示例 .............................. 1
1.2 多功能晶圆单元的注意事项 ................ 2
1.3 安全标识 ................................ 3
1.3.1 安全标识的含义 ............................ 3
1.4 紧急停止按钮 ............................ 4
2. 各部分的名称和功能......................... 5
2.1 MWU8i ................................... 5
2.1.1 PP 吸嘴种类................................ 6
2.1.2 顶起筒 .................................... 7
2.1.3 晶圆托架 .................................. 7
2.2 吸嘴置放台 .............................. 8
3. 传感器配置图............................... 9
3.1 I/O 的确认方法........................... 9
3.2 安全门和空气压、真空压 ................. 10
3.3 料盘塔 ................................. 12
3.4 PP 单元................................. 17
3.5 PP 吸嘴更换器........................... 18
3.6 往复臂和翻转单元 ....................... 19
3.7 顶起单元 ............................... 21
3.8 元件排出搬运轨道 ....................... 22
4. 安装...................................... 25
4.1 拆下固定支架 ........................... 25
4.2 安装主电源开关 ON/OFF 单元 .............. 27
4.3 变更到对应多功能晶圆的模组 ............. 29
4.3.1 准备物品 ................................. 29
4.3.2 作业步骤 ................................. 30
4.4 调整多功能晶圆单元的高度和倾斜 ......... 34
目录 INS-NXTMWU-4.2S
ii 多功能晶圆单元使用说明书
4.4.1 准备物品 ................................. 34
4.4.2 NXT-2 的 XY 机械手使用时的注意事项 ........ 36
4.4.3 调整方法 ................................. 37
4.5 吸取高度修正测定 ........................ 56
4.5.1 准备物品 ................................. 56
4.5.2 NXT-2 的 XY 机械手使用时的注意事项 ........ 57
4.5.3 测定前的确认事项 ......................... 57
4.5.4 测定方法 ................................. 58
4.5.5 备份固有值 ............................... 69
5. Job 的设定和编辑 .......................... 71
5.1 元件数据 ................................ 71
5.1.1 设定方法 ................................. 71
5.1.2 补充信息 ................................. 72
5.2 封装数据 ................................ 74
5.2.1 设定方法 ................................. 74
5.3 外形数据 ................................ 75
5.3.1 设定方法 ................................. 75
5.3.2 补充信息 ................................. 80
5.4 定位点数据 .............................. 89
5.4.1 设定方法 ................................. 89
5.5 机器构成数据 ............................ 91
5.6 通过 MEdit 的 Job 编辑 .................... 94
5.6.1 影像处理测试 ............................. 94
5.6.2 吸取测试 ................................. 99
5.6.3 切割宽度设定 ............................ 105
5.7 通过 Collet Spec Editor 的设定 .......... 112
5.7.1 关于筒夹销配置对话框 .................... 112
5.7.2 顶起销配置设定 .......................... 114
5.7.3 复制筒夹数据 ............................ 115
5.7.4 导入筒夹数据 ............................ 116
5.7.5 删除筒夹数据 ............................ 116
5.8 运用邻近参考晶片参照功能 ............... 118
5.8.1 设定方法 ................................ 119
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多功能晶圆单元使用说明书 iii
5.8.2 补充信息 ................................ 125
6. 生产..................................... 129
6.1 生产之前 .............................. 129
6.1.1 安装晶圆托架 ............................ 129
6.1.2 安装吸嘴 ................................ 129
6.1.3 安装顶起销 .............................. 130
6.1.4 确认顶起筒的安装 ........................ 130
6.1.5 确认在晶片往复臂上安装了吸嘴 ............ 131
6.1.6 确认在翻转单元上安装了吸嘴 .............. 131
6.2 开始生产 .............................. 132
6.3 关于生产中的画面 ...................... 133
6.3.1 画面的构成 .............................. 133
6.4 补充晶圆 .............................. 134
6.4.1 元件补充向导画面 ........................ 134
6.4.2 补充步骤 ................................ 135
6.5 指定参考晶片 .......................... 139
6.5.1 参考晶片指定画面 ........................ 139
6.5.2 指定参考晶片 ............................ 139
6.5.3 指定吸取开始点 .......................... 142
6.5.4 关于参考补救 ............................ 143
6.6 补救错误元件 .......................... 144
6.6.1 料尽向导画面 ............................ 144
6.6.2 显示错误元件补救画面 .................... 144
6.6.3 错误元件补救的设定 ...................... 146
6.7 补充料盘元件 .......................... 147
6.7.1 元件补充向导画面 ........................ 147
6.7.2 补充步骤 ................................ 148
7. 换线..................................... 151
7.1 换线所需的项目 ........................ 151
7.2 从菜单画面上选择换线项目 .............. 152
7.2.1 换线菜单画面 ............................ 152
7.3 元件补充 （晶圆的安装）................ 153
7.3.1 晶圆安装向导画面 ........................ 153