多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第71页
INS-NXTMWU-4.2S 4. 安装 多功能晶圆单元使用说明书 57 4.5.2 NXT-2 的 XY 机械手使用时的注意事项 作业中，存在使用 NXT-2 的 XY 机械手的作业。此时， 请注意以下的事项。 4.5.3 测定前的确认事项 在进行吸取高度修正测定之前， 请确认以下事项。 a. 多功能晶圆单元的高度和倾斜的调整已经 完成。 b. NXT-2 和多功能晶圆 单元的的盖罩已经全部被安装了。 c. 在作业电脑上安装了 NX…
4. 安装 INS-NXTMWU-4.2S
56 多功能晶圆单元使用说明书
4.5 吸取高度修正测定
在完成了 "4.4 调整多功能晶圆单元的高度和倾斜 " 的作业后，进行吸取高度修正测定。
4.5.1 准备物品
开始作业之前，请确认以下的物品已经全部准备好了。
备注 )MWU 调整工具由本公司和代理店管理着，请联络本公司或代理店。另外，Z0 高度治具
为选购件。是否购买，请联络本公司或代理店。
分类 名称 数量 备注
治具 顶起调整治具 2ADLWJ00120* 1 附属品
工作头夹紧治具 AA18T** 1 附属品
Z0 高度治具 PM2047* 1 选购件
也可以使用 PM3629* 的 Z0
高度治具。使用时，将千分
表靠住最高的部分。
测定器 千分表 1 分辨率 2um
测定范围 0.6mm
磁性平台 1 -
软件 MWU 调整工具 1 本公司和代理店管理
Equipment Check 1 NXT-2 软件工具
01NST-1907
01NST-1908
01NST-1909
INS-NXTMWU-4.2S 4. 安装
多功能晶圆单元使用说明书 57
4.5.2 NXT-2 的 XY 机械手使用时的注意事项
作业中，存在使用 NXT-2 的 XY 机械手的作业。此时，请注意以下的事项。
4.5.3 测定前的确认事项
在进行吸取高度修正测定之前，请确认以下事项。
a. 多功能晶圆单元的高度和倾斜的调整已经完成。
b. NXT-2 和多功能晶圆单元的的盖罩已经全部被安装了。
c. 在作业电脑上安装了 NXT-2 软件工具 [Equipment Check] （详细内容请参照 [NXT II
系统手册 ] 的 [NXT-2 软件工具 ]。）
d. 请确认手头有固有值备份数据。使用备份数据内的 [InspectionTool.ini] 文件。该
数据附属于多功能晶圆单元。
警告
模组运转后，请不要马上直接接触模组的线性马达轴和线圈。有可能烫
伤。
模组的线性马达会发生强磁场。使用心脏起搏器的人员，请不要靠近的 Y
轴的线性马达附近 （请离开 400 mm 以上）。受磁场影响有可能造成心脏起
搏器误动作。
注意
手动移动 XY 机械手时，请握住框架部。请握住贴装工作头本体或手柄等，
不要对工作头施加力。
请不要压住 X 轴盖罩。盖罩有可能变形。
在模组的线性马达附近 （55 mm 以内）进行作业时，请不要使用通常的工
具。请使用非磁性工具。
请不要使磁卡、手表、精密仪器等靠近模组的线性马达附近 （55 mm 以
内）。有可能受磁场影响出现故障。
更换工作头和维修保养作业时，物品不要撞击线性标尺，使其损伤。如果
线性标尺损伤，就会发生错误，有可能不能生产。此时，需要更换线性标
尺。
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58 多功能晶圆单元使用说明书
4.5.4 测定方法
进行测定的准备
1. 将 MWU 调整工具安装到作业电脑中。复制软件 [MWU Adjustment Tool] 的文件夹，粘贴
到电脑的任意位置。下一步，复制机器附属的固有值备份数据内的
[InspectionTool.ini]，粘贴到 [MWU Adjustment Tool] 的文件夹内。
备注 )虽然 [MWU Adjustment Tool] 的文件夹内存在 [InspectionTool.ini]，但是请覆盖保
存机器附属的 [InspectionTool.ini]。不要变更文件名。
2. 请打开 [MWU Adjustment Tool] 的文件夹内的 [MWU.exe]。MWU 调整工具启动。
3. 通过手动指令，卸下贴装工作头。（详细内容请参照 [NXT II 系统手册僗 ] 的 [ 手动模
式指令 ]。）
4. 将多功能晶圆单元安装到模组上。（详细内容请参照 "9.2 安装方法 "。）
5. 按下模组的紧急停止按钮，打开侧面盖罩。
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